Publikationsübersicht –DienstleistungenMEMS - Simulation, Design und Test
Vibrometry in the Field of MEMS – Application Examples from Stress to Quality Factor Identification
Steffen Michael1CiS-Workshop "Simulation und Design", , Erfurt, Germany1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, GermanyCharacterizing Dynamics of MEMS Devices on Wafer Level Using Optical Measurement Techniques
Sebastian Giessmann1, Steffen Michael2, Eric Lawrence3, Heinrich Steger4Commercial Micro Manufacturing International Magazine (CMM Magazine), 08-2023, 2023, VOL 16, NO. 3, Seite 30-391MPI Corporation, 2IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 3Polytec, Inc., 4Polytec GmbH, Polytec-Platz 1-7, 76337 Waldbronn, GermanyEntwurf, Evaluierung und Optimierung von HF- und UHF-RFID-Sensorsystemen
Björn Bieske1, Tom Reinhold1, Jun Tan1Analog 2020, 17. ITG/GMM-Fachtagung, Analoge Schaltungen: Schlüsselsysteme für Automotive, IoT und zukünftige drahtlose Technologien, , online1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, GermanyFlexible PXI-Plattform für Evaluierung und Test von HF- und UHF-RFID-Sensorsystemen
Björn Bieske1, Tom Reinhold1, Jun Tan132. GI/GMM/ITG-Workshop Testmethoden und Zuverlässigkeit von Schaltungen und Systemen (TuZ 2020), , Ludwigsburg, Germany1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, GermanyModeling of Low-dropout Regulator to Optimize Power Supply Rejection in System-on-Chip Applications
Jun Tan1, Ralf Sommer1,22019 16th International Conference on Synthesis, Modeling, Analysis and Simulation Methods and Applications to Circuit Design (SMACD), , Lausanne, Switzerland, pp. 113-116, DOI: doi.org/10.1109/SMACD.2019.87952391IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik, Fachgebiet Elektronische Schaltungen und Systeme, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, GermanyEfficient Design and Layout of Capacitive 3D Accelerometer
Steffen Michael1, Ralf Sommer1,22019 16th International Conference on Synthesis, Modeling, Analysis and Simulation Methods and Applications to Circuit Design (SMACD), , Lausanne, Switzerland, pp. 225-228, DOI: doi.org/10.1109/SMACD.2019.87952801IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik, Fachgebiet Elektronische Schaltungen und Systeme, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, GermanyFrom Low-Power to No-Power: Adaptive Clocking for Event-Driven Systems
Georg Gläser1, Benjamin Saft1, Dominik Wrana2, Athanasios Gatzastras2, Eckhard Hennig22018 Forum on Specification & Design Languages (FDL), , Garching, pp. 5-16, DOI: doi.org/10.1109/FDL.2018.85241311IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Reutlingen University, Alteburgstraße 150, 72762 Reutlingen, GermanyA contribution towards model-based design of application-specific MEMS
Jenny Klaus1, Eric Schäfer1, Roman Paris1, Astrid Frank1, Ralf Sommer1in Integration, vol. 58, pp. 454-462, 2017, DOI: doi.org/10.1016/j.vlsi.2017.03.0141IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, GermanySystematic MEMS ASIC Design Flow using the Example of an Acceleration Sensor
Jenny Klaus1, Roman Paris1, Ralf Sommer12016 13th International Conference on Synthesis, Modeling, Analysis and Simulation Methods and Applications to Circuit Design (SMACD), , Lisbon, Portugal, pp. 1-4, DOI: doi.org/10.1109/SMACD.2016.75207301IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, GermanyAnsätze zur Entwicklung durchgängiger Entwurfsstrategien für MEMS
Jacek Nowak1, Jenny Klaus2, Dominik Karolewski2, Ralf Sommer2,1edaWorkshop 14, Tagungsband, VDE-Verlag, , Hannover, ISBN 978-3-8007-3620-11Technische Universität Ilmenau, Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik, Fachgebiet Elektronische Schaltungen und Systeme, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany, 2IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, GermanyUsing WiCkeD in MEMS Design
Volker Boos1.MunEDA User Group Meeting, München, 10.10.2013-11.10.2013
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.VortragSchematic-Based Design of MEMS for Applications in Optics and Robotics
T. Maier1. D. Meisel1. Volker Boos3. Ralf Popp2.edaWorkshop, Dresden, 14.05.2013-16.05.2013
1Robert Bosch GmbH, Stuttgart. 2edacentrum GmbH, Hannover. 3IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.PosterpräsentationSchematic Driven MEMS Design
Ralf Sommer1.edaWorkshop, Dresden, 14.05.2013-16.05.2013
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.VortragMEMS2015 - Schaltplan-basierter Entwurf von MEMS für Anwendungen in Optik und Robotik
Volker Boos1. Ralf Popp2. Mirco Meiners3. D. Meisel3. A. Müller4.in Newsletter edacentrum, 01/2013
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2edacentrum GmbH Hannover. 3Robert Bosch GmbH Stuttgart. 4X-FAB Semiconductor Foundries AG Erfurt.FachartikelStress Identification of Thin Membrane Structures by Dynamic Measuarments. Aix-en-Provence
S. Michael1. C. Schäffel1. S. Voigt2. R. Knechtel3.France: Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP). S. 106-109. ISBN: 978-2-35500-013-3
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Technische Universität Chemnitz. 3X-FAB Semiconductor Foundries AG, Erfurt.FachartikelDynamic Parameter Identification of Pressure Sensors & Beam Structures
St. Michael1.MEMS Workshop- FEMTO-ST, 20. November 2008, Besancon, France
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag