Publikationsübersicht –DienstleistungenMEMS - Simulation, Design und Test
Vibrometry in the Field of MEMS – Application Examples from Stress to Quality Factor Identification
Steffen Michael1.CiS-Workshop "Simulation und Design", 26. September 2023, Erfurt, Germany
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.Characterizing Dynamics of MEMS Devices on Wafer Level Using Optical Measurement Techniques
Sebastian Giessmann1. Steffen Michael2. Eric Lawrence3. Dr. Heinrich Steger4.Commercial Micro Manufacturing International Magazine (CMM Magazine), 08-2023, VOL 16 NO. 3, pp. 30-39
1MPI Corporation. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 3Polytec, Inc.. 4Polytec GmbH.Entwurf, Evaluierung und Optimierung von HF- und UHF-RFID-Sensorsystemen
Björn Bieske1. Tom Reinhold1. Jun Tan1.Analog 2020, 17. ITG/GMM-Fachtagung, Analoge Schaltungen: Schlüsselsysteme für Automotive, IoT und zukünftige drahtlose Technologien, 28-30 September 2020, online
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.Flexible PXI-Plattform für Evaluierung und Test von HF- und UHF-RFID-Sensorsystemen
Björn Bieske1. Tom Reinhold1. Jun Tan1.32. GI/GMM/ITG-Workshop Testmethoden und Zuverlässigkeit von Schaltungen und Systemen (TuZ 2020), 16. - 18. Februar 2020, Ludwigsburg, Germany
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.Modeling of Low-dropout Regulator to Optimize Power Supply Rejection in System-on-Chip Applications
Jun Tan1. Ralf Sommer2.2019 16th International Conference on Synthesis, Modeling, Analysis and Simulation Methods and Applications to Circuit Design (SMACD), Lausanne, Switzerland, 15 - 18 July 2019, pp. 113-116.
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.Efficient Design and Layout of Capacitive 3D Accelerometer
Steffen Michael1. Ralf Sommer1.2019 16th International Conference on Synthesis, Modeling, Analysis and Simulation Methods and Applications to Circuit Design (SMACD), Lausanne, Switzerland, 15 - 18 July 2019, pp. 225-228.
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.From Low-Power to No-Power: Adaptive Clocking for Event-Driven Systems
Georg Gläser1. Benjamin Saft1. Dominik Wrana2. Arthanasios Gatzastras2. Eckhard Hennig2.2018 Forum on Specification & Design Languages (FDL), Garching, 10-12 September 2018, pp. 5-16.
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Reutlingen University Reutlingen, Germany.A contribution towards model-based design of application-specific MEMS
Jenny Klaus1. Eric Schäfer1. Roman Paris1. Astrid Frank1. Ralf Sommer1.In Integration, the VLSI Journal, Volume 58, 2017, Pages 454-462, ISSN 0167-9260, DOI: doi.org/10.1016/j.vlsi.2017.03.014
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.Systematic MEMS ASIC Design Flow using the Example of an Acceleration Sensor
Jenny Klaus1. Roman Paris1. Ralf Sommer1.13th International Conference on Synthesis, Modeling, Analysis and Simulation Methods and Applications to Circuit Design (SMACD) 2016, 27-30 June 2016, Lisbon, Portugal, pp. 1-4, DOI: doi.org/10.1109/SMACD.2016.7520730, (Best-Paper-Award-Runner-Up)
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany.Ansätze zur Entwicklung durchgängiger Entwurfsstrategien für MEMS
Jacek Nowak1. Jenny Klaus2. Dominik Karolewski2. Ralf Sommer1,2.edaWorkshop 14, Hannover, 13.-14. Mai 2014, Tagungsband, VDE-Verlag, ISBN: 978-3-8007-3620-1
1Technische Universität Ilmenau, Ilmenau. 2Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Using WiCkeD in MEMS Design
Volker Boos1.MunEDA User Group Meeting, München, 10.10.2013-11.10.2013
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.VortragSchematic-Based Design of MEMS for Applications in Optics and Robotics
T. Maier1. D. Meisel1. Volker Boos3. Ralf Popp2.edaWorkshop, Dresden, 14.05.2013-16.05.2013
1Robert Bosch GmbH, Stuttgart. 2edacentrum GmbH, Hannover. 3IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.PosterpräsentationSchematic Driven MEMS Design
Ralf Sommer1.edaWorkshop, Dresden, 14.05.2013-16.05.2013
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.VortragMEMS2015 - Schaltplan-basierter Entwurf von MEMS für Anwendungen in Optik und Robotik
Volker Boos1. Ralf Popp2. Mirco Meiners3. D. Meisel3. A. Müller4.in Newsletter edacentrum, 01/2013
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2edacentrum GmbH Hannover. 3Robert Bosch GmbH Stuttgart. 4X-FAB Semiconductor Foundries AG Erfurt.FachartikelStress Identification of Thin Membrane Structures by Dynamic Measuarments. Aix-en-Provence
S. Michael1. C. Schäffel1. S. Voigt2. R. Knechtel3.France: Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP). S. 106-109. ISBN: 978-2-35500-013-3
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Technische Universität Chemnitz. 3X-FAB Semiconductor Foundries AG, Erfurt.FachartikelDynamic Parameter Identification of Pressure Sensors & Beam Structures
St. Michael1.MEMS Workshop- FEMTO-ST, 20. November 2008, Besancon, France
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag