Aktuelle Publikation
MEMS2015 - Schaltplan-basierter Entwurf von MEMS für Anwendungen in Optik und Robotik
Volker Boos1.
Ralf Popp2.
Mirco Meiners3.
D. Meisel3.
A. Müller4.
in Newsletter edacentrum, 01/2013
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
2edacentrum GmbH Hannover.
3Robert Bosch GmbH Stuttgart.
4X-FAB Semiconductor Foundries AG Erfurt.
Fachartikel
Zugehörige Inhalte
Projekt
MEMS2015
Ein am IMMS entwickeltes Entwurfswerkzeug generiert Mechanik-Designs automatisch und ermöglicht MEMS-Gesamtsystemsimulationen.
Auszeichnung