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Aktuelle Publikation

Schematic-Based Design of MEMS for Applications in Optics and Robotics

T. Maier1. D. Meisel1. Volker Boos3. Ralf Popp2.

edaWorkshop, Dresden, 14.05.2013-16.05.2013

1Robert Bosch GmbH, Stuttgart. 2edacentrum GmbH, Hannover. 3IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
PosterpräsentationMEMS2015

Zugehörige Inhalte

Projekt

MEMS2015

Ein am IMMS entwickeltes Entwurfswerkzeug generiert Mechanik-Designs automatisch und ermöglicht MEMS-Gesamtsystemsimulationen.

Auszeichnung

Best Paper Award Runner-Up für den Beitrag: Systematic MEMS ASIC Design Flow using the Example of an Acceleration Sensor

Jenny Klaus

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