Aktuelle Publikation
A contribution towards model-based design of application-specific MEMS
Jenny Klaus1, Eric Schäfer1, Roman Paris1, Astrid Frank1, Ralf Sommer1
in Integration, vol. 58, pp. 454-462, 2017, DOI: doi.org/10.1016/j.vlsi.2017.03.014
1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany
Zugehörige Inhalte

Projekt
RoMulus
UHF-RFID-Chip zum batterielosen Betrieb kommerzieller Sensoren in I4.0-Anwendungen und systematischer Entwurf von Multisensorik-Systemen

Projekt
MUSIK
Das IMMS hat MEMS-Eigenschaften untersucht, modelliert und validiert, um Grundblöcke für eine universelle MEMS-Designmethodik zu entwickeln.

