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Aktuelle Publikation

A contribution towards model-based design of application-specific MEMS

Jenny Klaus1. Eric Schäfer1. Roman Paris1. Astrid Frank1. Ralf Sommer1.

In Integration, the VLSI Journal, Volume 58, 2017, Pages 454-462, ISSN 0167-9260, DOI: doi.org/10.1016/j.vlsi.2017.03.014

1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.

Zugehörige Inhalte

Projekt

RoMulus

UHF-RFID-Chip zum batterielosen Betrieb kommerzieller Sensoren in I4.0-Anwendungen und systematischer Entwurf von Multisensorik-Systemen

Projekt

MUSIK

Das IMMS hat MEMS-Eigenschaften untersucht, modelliert und validiert, um Grundblöcke für eine universelle MEMS-Designmethodik zu entwickeln.

Auszeichnung

Best Paper Award Runner-Up für den Beitrag: Systematic MEMS ASIC Design Flow using the Example of an Acceleration Sensor

Jenny Klaus

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