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Aktuelle Publikation

A contribution towards model-based design of application-specific MEMS

Jenny Klaus1, Eric Schäfer1, Roman Paris1, Astrid Frank1, Ralf Sommer1
in Integration, vol. 58, pp. 454-462, 2017, DOI: doi.org/10.1016/j.vlsi.2017.03.014
1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany

Zugehörige Inhalte

Projekt

RoMulus

UHF-RFID-Chip zum batterielosen Betrieb kommerzieller Sensoren in I4.0-Anwendungen und systematischer Entwurf von Multisensorik-Systemen

Projekt

MUSIK

Das IMMS hat MEMS-Eigenschaften untersucht, modelliert und validiert, um Grundblöcke für eine universelle MEMS-Designmethodik zu entwickeln.

Auszeichnung

iENA-Silbermedaille für die Erfindung „Schaltungsanordnung zur Bereitstellung der Ladeenergie für einen Pegelwechsel auf einem Signalbus, Verfahren zur Kalibrierung und Signalübertragungssystem“

Georg Gläser

Auszeichnung

Best Paper Award Runner-Up für den Beitrag: Systematic MEMS ASIC Design Flow using the Example of an Acceleration Sensor

Jenny Klaus

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