Systematic MEMS ASIC Design Flow using the Example of an Acceleration Sensor

Jenny Klaus¹, Roman Paris¹, Ralf Sommer¹

2016 13th International Conference on Synthesis, Modeling, Analysis and Simulation Methods and Applications to Circuit Design (SMACD), 27.06.2016 – 30.06.2016, Lisbon, Portugal, pp. 1-4, DOI: doi.org/10.1109/SMACD.2016.7520730

¹IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany

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