Zum Hauptinhalt springen

Aktuelle Publikation

Dynamic Parameter Identification of Pressure Sensors & Beam Structures

St. Michael1.

MEMS Workshop- FEMTO-ST, 20. November 2008, Besancon, France

1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
Vortrag