Aktuelle Publikation
Ansätze zur Entwicklung durchgängiger Entwurfsstrategien für MEMS
Jacek Nowak1, Jenny Klaus2, Dominik Karolewski2, Ralf Sommer2,1
edaWorkshop 14, Tagungsband, VDE-Verlag, , Hannover, ISBN 978-3-8007-3620-1
1Technische Universität Ilmenau, Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik, Fachgebiet Elektronische Schaltungen und Systeme, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany, 2IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany



