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Aktuelle Publikation

Ansätze zur Entwicklung durchgängiger Entwurfsstrategien für MEMS

Jacek Nowak1. Jenny Klaus2. Dominik Karolewski2. Ralf Sommer1,2.

edaWorkshop 14, Hannover, 13.-14. Mai 2014, Tagungsband, VDE-Verlag, ISBN: 978-3-8007-3620-1

1Technische Universität Ilmenau, Ilmenau. 2Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.

Zugehörige Inhalte

Projekt

MUSIK

Das IMMS hat MEMS-Eigenschaften untersucht, modelliert und validiert, um Grundblöcke für eine universelle MEMS-Designmethodik zu entwickeln.

Projekt

MEMS2015

Ein am IMMS entwickeltes Entwurfswerkzeug generiert Mechanik-Designs automatisch und ermöglicht MEMS-Gesamtsystemsimulationen.

Auszeichnung

Best Paper Award Runner-Up für den Beitrag: Systematic MEMS ASIC Design Flow using the Example of an Acceleration Sensor

Jenny Klaus

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