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Projekt MUSIK

Das IMMS hat MEMS-Eigenschaften untersucht, modelliert und validiert, um Grundblöcke für eine universelle MEMS-Designmethodik zu entwickeln.

Im Projekt wurden die verstärkenden, steuernden, oszillierenden und schaltenden Eigenschaften von mikroelektromechanischen Systemen (MEMS) erforscht, um sie zusammen mit der Elektronik für komplexe Hochfrequenz-Schaltungen und Systeme zu entwerfen. Ziel war es, mit einer universellen Designmethodik die technologische Diskrepanz zwischen der herkömmlichen MEMS- und der modernen modellbasierten, rechnergestützten Methodik des Entwurfs für ASICs zu beseitigen und die Entwicklung von Gesamtsystemen aus dem technologisch neuartigen SiCer-Material zu begleiten.

Das IMMS hat MEMS-Eigenschaften untersucht und modelliert, um Grundblöcke für eine universelle MEMS-Designmethodik zu entwickeln. Das IMMS hat Bibliothekselemente entwickelt, die die Basis für die Bauelemente- und Systemsimulationen im Projekt bilden. Dafür wurden die Bauelemente mittels Finite-Elemente-Methode untersucht, analytisch beschrieben und als Verhaltensmodell in einen durchgehenden Design-Flow eingebunden. Das IMMS forschte unter anderem an den Grundblöcken für einen HF-MEMS-Switch, einen HF-MEMS-Resonator und BAW-Resonatoren für BAW-Filter auf der im Projekt verwendeten SiCer-Plattform.

Die für einzelne MEMS-Bauelemente gewonnenen Ergebnisse flossen in die Gesamtsystembetrachtung ein. Hierfür hat das IMMS die Modelle für typische, auf das SiCer-Verbundsubstrat angepasste MEMS-Baugruppen übertragen und insbesondere um thermische Effekte und um nichtlineare Eigenschaften erweitert.

Akronym / Name:

MUSIK / Multiphysikalische Synthese und Integration komplexer Hochfrequenz-Schaltungen

Laufzeit:2012 – 2015 (Phase 1), 2016 – 2018 (Phase 2)

Projekt-Webseite:MUSIK

Anwendung:

|MEMS-Design

Forschungsfeld:


Zugehörige Inhalte

Alle PublikationenMUSIK

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2018 IEEE International Ultrasonics Symposium, Internationale Fachkonferenz für Forschung, Entwicklung und Anwendung von Ultraschall

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Kontakt

Kontakt

Dr.-Ing. Frank Spiller

Kommissarischer Leiter Mechatronik

frank.spiller(at)imms.de+49 (0) 3677 874 93 61

Dr. Frank Spiller gibt Ihnen Auskunft zu unserer Forschung an magnetischen 6D-Direktantrieben mit nm-Präzision für die nm-Vermessung und -Strukturierung von Objekten. Er unterstützt Sie mit Dienstleistungen für die Entwicklung mechatronischer Systeme, für Simulation, Design und Test von MEMS sowie für Finite-Elemente-Modellierung und Simulation.


Förderung

Das IMMS wurde als Mitglied der Forschergruppe FOR 1522 MUSIK der DFG im Teilprojekt 5 unter dem Förderkennzeichen SCHA771/2-1 und SCHA771/2-2 gefördert.


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