Im Projekt wurden die verstärkenden, steuernden, oszillierenden und schaltenden Eigenschaften von mikroelektromechanischen Systemen (MEMS) erforscht, um sie zusammen mit der Elektronik für komplexe Hochfrequenz-Schaltungen und Systeme zu entwerfen. Ziel war es, mit einer universellen Designmethodik die technologische Diskrepanz zwischen der herkömmlichen MEMS- und der modernen modellbasierten, rechnergestützten Methodik des Entwurfs für ASICs zu beseitigen und die Entwicklung von Gesamtsystemen aus dem technologisch neuartigen SiCer-Material zu begleiten.

Das IMMS hat MEMS-Eigenschaften untersucht und modelliert, um Grundblöcke für eine universelle MEMS-Designmethodik zu entwickeln. Das IMMS hat Bibliothekselemente entwickelt, die die Basis für die Bauelemente- und Systemsimulationen im Projekt bilden. Dafür wurden die Bauelemente mittels Finite-Elemente-Methode untersucht, analytisch beschrieben und als Verhaltensmodell in einen durchgehenden Design-Flow eingebunden. Das IMMS forschte unter anderem an den Grundblöcken für einen HF-MEMS-Switch, einen HF-MEMS-Resonator und BAW-Resonatoren für BAW-Filter auf der im Projekt verwendeten SiCer-Plattform.

Die für einzelne MEMS-Bauelemente gewonnenen Ergebnisse flossen in die Gesamtsystembetrachtung ein. Hierfür hat das IMMS die Modelle für typische, auf das SiCer-Verbundsubstrat angepasste MEMS-Baugruppen übertragen und insbesondere um thermische Effekte und um nichtlineare Eigenschaften erweitert.