Aktuelle Publikation
Vibrometry in the Field of MEMS – Application Examples from Stress to Quality Factor Identification
Steffen Michael1
CiS-Workshop "Simulation und Design", , Erfurt, Germany
1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany
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