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Aktuelle Publikation

Efficient Design and Layout of Capacitive 3D Accelerometer

Steffen Michael1. Ralf Sommer1.

2019 16th International Conference on Synthesis, Modeling, Analysis and Simulation Methods and Applications to Circuit Design (SMACD), Lausanne, Switzerland, 15 - 18 July 2019, pp. 225-228.

DOI: doi.org/10.1109/SMACD.2019.8795280

1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.

Zugehörige Inhalte

Projekt

RoMulus

UHF-RFID-Chip zum batterielosen Betrieb kommerzieller Sensoren in I4.0-Anwendungen und systematischer Entwurf von Multisensorik-Systemen

Auszeichnung

Best Paper Award Runner-Up für den Beitrag: Systematic MEMS ASIC Design Flow using the Example of an Acceleration Sensor

Jenny Klaus

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