Wissenschaftliche Publikationen
Hier finden Sie alle Veröffentlichungen des IMMS seit 1997: begutachtete Konferenz-Paper / Journal-Beiträge, Fachartikel in Zeitschriften, Vorträge und Posterpräsentationen.
32 Ergebnisse
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Development of an Integrated Guiding and Actuation Element for High Dynamic Nanopositioning Systems
Stephan Gorges1. Bianca Leistritz1. Steffen Hesse1. I. Ortlepp2. G. Slotta3. Christoph Schäffel1.Ilmenau Scientific Colloquium 2017, Session 1.1 – Precision Measurement Technology, 11-15 September 2017, Ilmenau1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, TU Ilmenau. 3AeroLas GmbH. -
6D planar magnetic levitation system - PIMag 6D
Christoph Schäffel1. Michael Katzschmann1. Hans-Ulrich Mohr1. Rainer Glöss2. Christian Rudolf2. Carolin Walenda2.JSME Mechanical Engineering Journal, Vol. 3 (2016) No. 1 p. 15-00111, The Japan Society of Mechanical Engineers, DOI: doi.org/10.1299/mej.15-001111IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, D-98693 Ilmenau, Germany. 2Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Karlsruhe, Germany.