Wissenschaftliche Publikationen
Hier finden Sie alle Veröffentlichungen des IMMS seit 1997: begutachtete Konferenz-Paper / Journal-Beiträge, Fachartikel in Zeitschriften, Vorträge und Posterpräsentationen.
39 Ergebnisse
-
Picometer-Scale Positioning of a Linear Drive System via Feedforward-Feedback Control
Alex S. Huaman1. Michael Katzschmann1. Steffen Hesse1. Christoph Schäffel1. Christoph Weise2. Denis Dontsov3. Eberhard Manske2. Johann Reger2.2021 IEEE International Conference on Mechatronics (ICM2021), DOI: doi.org/10.1109/ICM46511.2021.9385699, 7 - 9 March 2021, Kashiwa, Japan1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Technische Universität Ilmenau, Germany. 3SIOS Meßtechnik GmbH, Germany. -
Nanopositioning and fabrication using the Nano Fabrication Machine with a positioning range up to ⊘100 mm
Jaqueline Stauffenberg1. Christoph Reuter1. Ingo Ortlepp1. Mathias Holz2. Denis Dontsov3. Christoph Schäffel4. Jens-Peter Zöllner1. Ivo Rangelow1. Steffen Strehle1. Eberhard Manske1.Proc. SPIE 11610, Novel Patterning Technologies 2021, 1161016 (22 February 2021); DOI: doi.org/10.1117/12.25837031Technische Universität Ilmenau, Germany. 2nano analytik GmbH, Germany. 3SIOS Meßtechnik GmbH, Germany. 4IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. -
Hochpräzise positionieren – Integrierter 6-DOF-Direktantrieb bewegt Objekte nanometergenau im Raum
Christoph Schäffel1.Konstruktion, Sonderteil Antriebstechnik, www.ingenieur.de/fachmedien/konstruktion/antriebstechnik/hochpraezise-positionieren/, 13. Oktober 20201IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. -
Tip- and laser-based nanofabrication up to 100 mm with sub-nanometre precision
Ingo Ortlepp1. Michael Kühnel1. Martin Hofmann1. Laura Weidenfeller1. Johannes Kirchner1. Shraddha Supreeti1. Rostyslav Mastylo1. Mathias Holz1. Thomas Michels1. Roland Füßl1. Ivo W. Rangelow1. Thomas Fröhlich1. Denis Dontsov2. Christoph Schäffel3. Eberhard Manske1.Proc. SPIE 11324, Novel Patterning Technologies for Semiconductors, MEMS/NEMS and MOEMS 2020, 113240A (23 March 2020), DOI: doi.org/10.1117/12.25510441Technische Universität Ilmenau, Germany. 2SIOS Meßtechnik GmbH, Germany. 3IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. -
Integrated Planar 6-DOF Nanopositioning System
Stephan Gorges1. Steffen Hesse1. Christoph Schäffel1. I. Ortlepp2. E. Manske2. E. Langlotz2. D. Dontsov3.2019 11th IFAC Symposium on Nonlinear Control Systems (NOLCOS 2019), 4 - 6 September 2019, Vienna, Austria , IFAC-PapersOnLine, Volume 52, Issue 15, 2019, Pages 313-318, ISSN 2405-8963, DOI: doi.org/10.1016/j.ifacol.2019.11.6931IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Technische Universität Ilmenau, 98693 Ilmenau, Germany. 3SIOS Meßtechnik GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. -
Design and Modeling Approach for a Lifting and Actuating Unit for the Application in Nano-Precision Machines
Stephan Gorges1. Steffen Hesse1.33rd Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering (ASPE), 2018, 4-9 November 2018, Las Vegas, Nevada, USA1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. -
Towards alternative 3D nanofabrication in macroscopic working volumes
M. Kühnel1. T. Fröhlich1. R. Füßl1. M. Hoffmann6. E. Manske1. I. W. Rangelow2. J. Reger3. C. Schäffel5. S. Sinzinger4. J-P. Zöllner3.Meas. Sci. Technol. 29 (2018) 114002, DOI: doi.org/10.1088/1361-6501/aadb571Institute for Process Measurement and Sensor Technology, Technische Universität Ilmenau, 98684 Ilmenau, PO Box 100565, Germany. 2Institute for Microelectronics and Nanoelectronics, Technische Universität Ilmenau, 98684 Ilmenau, PO Box 100565, Germany. 3Institute for Automation and Systems Engineering, Technische Universität Ilmenau, 98684 Ilmenau, PO Box 100565, Germany. 4Optical Engineering Department, Technische Universität Ilmenau, 98684 Ilmenau, PO Box 100565, Germany. 5IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 6Ruhr-Universität Bochum, Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik, Universitätsstraße 150, ID 05 / 441, 44801 Bochum, Germany. -
Development of an Integrated Guiding and Actuation Element for High Dynamic Nanopositioning Systems
Stephan Gorges1. Bianca Leistritz1. Steffen Hesse1. I. Ortlepp2. G. Slotta3. Christoph Schäffel1.Ilmenau Scientific Colloquium 2017, Session 1.1 – Precision Measurement Technology, 11-15 September 2017, Ilmenau1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, TU Ilmenau. 3AeroLas GmbH. -
6D planar magnetic levitation system - PIMag 6D
Christoph Schäffel1. Michael Katzschmann1. Hans-Ulrich Mohr1. Rainer Glöss2. Christian Rudolf2. Carolin Walenda2.JSME Mechanical Engineering Journal, Vol. 3 (2016) No. 1 p. 15-00111, The Japan Society of Mechanical Engineers, DOI: doi.org/10.1299/mej.15-001111IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, D-98693 Ilmenau, Germany. 2Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Karlsruhe, Germany.