Wissenschaftliche Publikationen
Hier finden Sie alle Veröffentlichungen des IMMS seit 1997: begutachtete Konferenz-Paper / Journal-Beiträge, Fachartikel in Zeitschriften, Vorträge und Posterpräsentationen.
33 Ergebnisse
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Towards alternative 3D nanofabrication in macroscopic working volumes
M. Kühnel1. T. Fröhlich1. R. Füßl1. M. Hoffmann6. E. Manske1. I. W. Rangelow2. J. Reger3. C. Schäffel5. S. Sinzinger4. J-P. Zöllner3.Meas. Sci. Technol. 29 (2018) 114002, DOI: doi.org/10.1088/1361-6501/aadb571Institute for Process Measurement and Sensor Technology, Technische Universität Ilmenau, 98684 Ilmenau, PO Box 100565, Germany. 2Institute for Microelectronics and Nanoelectronics, Technische Universität Ilmenau, 98684 Ilmenau, PO Box 100565, Germany. 3Institute for Automation and Systems Engineering, Technische Universität Ilmenau, 98684 Ilmenau, PO Box 100565, Germany. 4Optical Engineering Department, Technische Universität Ilmenau, 98684 Ilmenau, PO Box 100565, Germany. 5IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 6Ruhr-Universität Bochum, Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik, Universitätsstraße 150, ID 05 / 441, 44801 Bochum, Germany. -
Development of an Integrated Guiding and Actuation Element for High Dynamic Nanopositioning Systems
Stephan Gorges1. Bianca Leistritz1. Steffen Hesse1. I. Ortlepp2. G. Slotta3. Christoph Schäffel1.Ilmenau Scientific Colloquium 2017, Session 1.1 – Precision Measurement Technology, 11-15 September 2017, Ilmenau1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, TU Ilmenau. 3AeroLas GmbH. -
6D planar magnetic levitation system - PIMag 6D
Christoph Schäffel1. Michael Katzschmann1. Hans-Ulrich Mohr1. Rainer Glöss2. Christian Rudolf2. Carolin Walenda2.JSME Mechanical Engineering Journal, Vol. 3 (2016) No. 1 p. 15-00111, The Japan Society of Mechanical Engineers, DOI: doi.org/10.1299/mej.15-001111IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, D-98693 Ilmenau, Germany. 2Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Karlsruhe, Germany.