Wissenschaftliche Publikationen
Hier finden Sie alle Veröffentlichungen des IMMS seit 1997: begutachtete Konferenz-Paper / Journal-Beiträge, Fachartikel in Zeitschriften, Vorträge und Posterpräsentationen.
39 Ergebnisse
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Development and validation of a simplified coil model for CFD simulation of a nano-positioning planar drive system
Ina Naujokat1. Ludwig Herzog1. Steffen Hesse1. Parastoo Salimitari1.Euspen Special Interest Conference: Precision & Performance 2025, November 18-20, 2025, Cranfield University, United Kingdom1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
Experimental characterization of thermal disturbances in a 6DOF nanopositioning system under varying operational conditions
Parastoo Salimitari1. Steffen Hesse1. Michael Katzschmann1. Ludwig Herzog1.Euspen Special Interest Conference: Precision & Performance 2025, November 18-20, 2025, Cranfield University, United Kingdom1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
Sensor for Picometer-Scale Positioning in Vacuum – Demonstration of an IDS3010-Based Ultra-Precise Closed-loop Linear Drive System
Markus Øverland1. Gregor Schindler1. Alex S. Huaman2. Ludwig Herzog2.Technical Note: Motion & Sensing 15, attocube systems GmbH. V10/25. PDF: marketing.attocube.com/acton/attachment/4434/f-ed569c35-99d8-435b-b87f-8f6a30a97ca2/1/-/-/-/-/TechNote_MAS-15_Sensor%20for%20Picometer-Scale%20Positioning%20in%20Vacuum.pdf1attocube systems GmbH, Eglfinger Weg 2, 85540 Haar, Germany. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
NPS6D200: Long-Range-6D-Nanopositionierung mit interferometrischem Feedback für das Closed-Loop-Regelungssystem
Steffen Hesse1.Experten-Tag für Präzisionsmesstechnik, 28. - 29. Oktober 2025, bei SIOS Meßtechnik GmbH, Ilmenau, Germany1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
Nanometer-Positionierung mit 6D-Regelung
Steffen Hesse1.Mikroproduktion, Fachmagazin, Ausgabe 03/2025, Seite 44 - 481IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
Herausforderungen und Lösungsansätze bei der Entwicklung kraftgekoppelter Hochpräzisions-Vertikalantriebe
Ludwig Herzog1.18. Jahrestagung „Feinwerktechnische Konstruktion“, 25. - 26. September 2025, Dresden, Germany1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
NPS6D100—A 6D Nanopositioning System with Sub-10 nm Performance in a Ø100 mm × 10 mm Workspace
Steffen Hesse1. Alex S. Huaman1. Micheal Katzschmann1. Ludwig Herzog1.Actuators 2025, 14, 361, DOI: doi.org/10.3390/act140803611IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
A method for dynamic interferometric characterization of air bearings for nanopositioning stages
Steffen Hesse1. Michael Katzschmann1. Alex Huaman1. Parastoo Salimitari1. Ludwig Herzog1.Ilmenauer Nacht der Interferometrie und Internationales Wissenschaftliches Symposium zum Welttag der Interferometrie, 8. - 9. April 2025, Technische Universität Ilmenau, Ilmenau1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
A virtual metrology frame test setup using fiber interferometric sensors
Davi Anders Brasil1. Steffen Hesse1. Ludwig Herzog1. Thomas Fröhlich2. Thomas Kissinger2.22nd International Metrology Congress (CIM 2025), Lyon, France, March 11-14, 20251IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. 2Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Technische Universität Ilmenau. -
NPS6D200 – Realization of high precision long stroke vertical actuation in conjunction with a planar direct drive
Steffen Hesse1. Michael Katzschmann1. Alex S. Huaman1. Davi-Anders Brasil1. Ludwig Herzog1.euspen Special Interest Conference: Precision Motion Systems and Control, Brabanthallen, ’s-Hertogenbosch, The Netherlands, November 12-13, 20241IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany.