Wissenschaftliche Publikationen
Hier finden Sie alle Veröffentlichungen des IMMS seit 1997: begutachtete Konferenz-Paper / Journal-Beiträge, Fachartikel in Zeitschriften, Vorträge und Posterpräsentationen.
46 Ergebnisse
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Investigation of long-term distance measurement repeatability in a large-range nanopositioning machine combined with a laser focus sensor
Davi Anders Brasil1, Michael Katzschmann1, Steffen Hesse1, Ludwig Herzog1, Eberhard Manske2, Thomas Fröhlich2, Thomas Kissinger2in Meas. Sci. Technol., vol. 37, no. 24, pp. 245005, 2026, DOI: doi.org/10.1088/1361-6501/ae76221IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, Germany -
Hybrid Characterization and Reconstruction of Transient Thermal Fields in 6-DOF Nanopositioning Systems
Parastoo Salimitari1, Ina Naujokat1, Ahmed Rahat1, Amin Suaad1, Ludwig Herzog1, Tino Hutschenreuther12026 PI Symposium on Mechatronics System Design, , Karlsruhe, Germany1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
From Tracking Error to Accuracy – Error Budgeting and Compensation Approaches in Long-Range Nanopositioning Systems
Ludwig Herzog12026 PI Symposium on Mechatronics System Design, , Karlsruhe, Germany1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
Von hoher Dynamik und ultra-hoher Präzision: Positioniersystem-Entwicklung am IMMS
Ludwig Herzog1Jahrestagung der Forschungsgemeinschaft Ultrapräzisionstechnik, , Aachen, Germany1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
Challenges of Building AI-Based Virtual Temperature Sensors for Nanopositioning Systems (NPS)
Amin Suaad1, Silvia Krug1,2, Tino Hutschenreuther12026 IEEE Symposium on Artificial Intelligence for Instrumentation and Measurement (AI4IM), , Amalfi, Italy, pp. 1-6, DOI: doi.org/10.1109/AI4IM69129.2026.115582221IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Mid Sweden University, Department of Computer and Electrical Engineering, Holmgatan 10, 851 70 Sundsvall, Sweden -
Determination of yaw angle of mirror origin in a 6-DOF nanopositioning stage
Davi Anders Brasil1, Michael Katzschmann1, Steffen Hesse1, Ludwig Herzog1, Thomas Kissinger2, Thomas Fröhlich2International Scientific Symposium on World Interferometry Day 2026, , Ilmenau, Germany1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, Germany -
Thermal Analysis of a Coil Assembly in a Nanopositioning Drive System via Reduced-Complexity CFD Modeling
Ina Naujokat1, Ludwig Herzog1, Steffen Hesse1, Parastoo Salimitari1Applied Sciences 2026, 16(6), 2748, DOI: doi.org/10.3390/app160627481IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
Development and validation of a simplified coil model for CFD simulation of a nano-positioning planar drive system
Ina Naujokat1, Ludwig Herzog1, Steffen Hesse1, Parastoo Salimitari1Euspen Special Interest Conference: Precision & Performance 2025, , Cranfield University, United Kingdom, Proceedings: https://www.euspen.eu/1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
Experimental characterization of thermal disturbances in a 6DOF nanopositioning system under varying operational conditions
Parastoo Salimitari1, Steffen Hesse1, Michael Katzschmann1, Ludwig Herzog1Euspen Special Interest Conference: Precision & Performance 2025, , Cranfield University, United Kingdom, Proceedings: https://www.euspen.eu/1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
Sensor for Picometer-Scale Positioning in Vacuum – Demonstration of an IDS3010-Based Ultra-Precise Closed-loop Linear Drive System
Markus Øverland1, Gregor Schindler1, Alex S. Huaman2, Ludwig Herzog2Technical Note: Motion & Sensing 15, attocube systems GmbH, V10/25, , PDF: https://marketing.attocube.com/1attocube systems GmbH, Eglfinger Weg 2, 85540 Haar, Germany, 2IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany