Aktuelle Publikation
Interferometrically controlled, scalable x-y planar positioning stage concept
Ilko Rahneberg1.
Enrico Langlotz1.
Denis Dontsov1.
Steffen Hesse2.
Jaqueline Stauffenberg3.
Eberhard Manske3.
Special Interest Group Meeting: Micro/Nano Manufacturing, 17 – 18 November 2021, Virtual
1SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, Germany.
2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.
3Technische Universität Ilmenau, Production and Precision Measurement Technology, Gustav-Kirchhoff-Straße 1, 98693 Ilmenau, Germany.