Wissenschaftliche Publikationen
Hier finden Sie alle Veröffentlichungen des IMMS seit 1997: begutachtete Konferenz-Paper / Journal-Beiträge, Fachartikel in Zeitschriften, Vorträge und Posterpräsentationen.
46 Ergebnisse
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NPS6D200: Long-Range-6D-Nanopositionierung mit interferometrischem Feedback für das Closed-Loop-Regelungssystem
Steffen Hesse1Experten-Tag für Präzisionsmesstechnik, , bei SIOS Meßtechnik GmbH, Ilmenau, Germany1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
Nanometer-Positionierung mit 6D-Regelung
Steffen Hesse1Mikroproduktion, Fachmagazin, Ausgabe 03/2025, 2025, Seite 44-481IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
Herausforderungen und Lösungsansätze bei der Entwicklung kraftgekoppelter Hochpräzisions-Vertikalantriebe
Ludwig Herzog118. Jahrestagung „Feinwerktechnische Konstruktion“, , Dresden, Germany1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
NPS6D100-A 6D Nanopositioning System with Sub-10 nm Performance in a Ø100 mm × 10 mm Workspace
Steffen Hesse1, Alex S. Huaman1, Michael Katzschmann1, Ludwig Herzog1Actuators 2025, 14(8), 361, DOI: doi.org/10.3390/act140803611IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
A method for dynamic interferometric characterization of air bearings for nanopositioning stages
Steffen Hesse1, Michael Katzschmann1, Alex S. Huaman1, Parastoo Salimitari1, Ludwig Herzog1Internationales Wissenschaftliches Symposium zum Welttag der Interferometrie, , Technische Universität Ilmenau, Ilmenau1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
A virtual metrology frame test setup using fiber interferometric sensors
Davi Anders Brasil1, Steffen Hesse1, Ludwig Herzog1, Thomas Fröhlich2, Thomas Kissinger222nd International Metrology Congress (CIM 2025), , Lyon, France1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, Germany -
Disturbance rejection in periodic motion with enhanced constant velocity transitions using a tilt-mirror test setup
Alex S. Huaman1, Michael Katzschmann1, Steffen Hesse1, Ludwig Herzog1euspen Special Interest Conference: Precision Motion Systems and Control, , Brabanthallen ’s-Hertogenbosch, Netherlands1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
NPS6D200 – Realization of high precision long stroke vertical actuation in conjunction with a planar direct drive
Steffen Hesse1, Michael Katzschmann1, Alex S. Huaman1, Davi Anders Brasil1, Ludwig Herzog1euspen Special Interest Conference: Precision Motion Systems and Control, , Brabanthallen ’s-Hertogenbosch, Netherlands1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
Experimental investigation of air bearing noise by means of a 3D nanopositioning system
Parastoo Salimitari1, Steffen Hesse1, Michael Katzschmann1, Alex S. Huaman1, Ludwig Herzog1euspen Special Interest Conference: Precision Motion Systems and Control, , Brabanthallen ’s-Hertogenbosch, Netherlands1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
Investigation of distance measurement reproducibility for a long-range nanopositioning machine combined with a laser focus sensor
Davi Anders Brasil1, Steffen Hesse1, Michael Katzschmann1, Ludwig Herzog1, Thomas Fröhlich2, Thomas Kissinger220th International Conference on Precision Engineering (ICPE2024), , Sendai, Japan1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, Germany