Wissenschaftliche Publikationen
Hier finden Sie alle Veröffentlichungen des IMMS seit 1997: begutachtete Konferenz-Paper / Journal-Beiträge, Fachartikel in Zeitschriften, Vorträge und Posterpräsentationen.
50 Ergebnisse
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Thermal Analysis of a Coil Assembly in a Nanopositioning Drive System via Reduced-Complexity CFD Modeling
Ina Naujokat1, Ludwig Herzog1, Steffen Hesse1, Parastoo Salimitari1Applied Sciences 2026, 16(6), 2748, DOI: doi.org/10.3390/app160627481IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
Development and validation of a simplified coil model for CFD simulation of a nano-positioning planar drive system
Ina Naujokat1, Ludwig Herzog1, Steffen Hesse1, Parastoo Salimitari1Euspen Special Interest Conference: Precision & Performance 2025, , Cranfield University, United Kingdom, Proceedings: https://www.euspen.eu/1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
Experimental characterization of thermal disturbances in a 6DOF nanopositioning system under varying operational conditions
Parastoo Salimitari1, Steffen Hesse1, Michael Katzschmann1, Ludwig Herzog1Euspen Special Interest Conference: Precision & Performance 2025, , Cranfield University, United Kingdom, Proceedings: https://www.euspen.eu/1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
Sensor for Picometer-Scale Positioning in Vacuum – Demonstration of an IDS3010-Based Ultra-Precise Closed-loop Linear Drive System
Markus Øverland1, Gregor Schindler1, Alex S. Huaman2, Ludwig Herzog2Technical Note: Motion & Sensing 15, attocube systems GmbH, V10/25, , PDF: https://marketing.attocube.com/1attocube systems GmbH, Eglfinger Weg 2, 85540 Haar, Germany, 2IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
NPS6D200: Long-Range-6D-Nanopositionierung mit interferometrischem Feedback für das Closed-Loop-Regelungssystem
Steffen Hesse1Experten-Tag für Präzisionsmesstechnik, , bei SIOS Meßtechnik GmbH, Ilmenau, Germany1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
Nanometer-Positionierung mit 6D-Regelung
Steffen Hesse1Mikroproduktion, Fachmagazin, Ausgabe 03/2025, 2025, Seite 44-481IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
Herausforderungen und Lösungsansätze bei der Entwicklung kraftgekoppelter Hochpräzisions-Vertikalantriebe
Ludwig Herzog118. Jahrestagung „Feinwerktechnische Konstruktion“, , Dresden, Germany1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
NPS6D100-A 6D Nanopositioning System with Sub-10 nm Performance in a Ø100 mm × 10 mm Workspace
Steffen Hesse1, Alex S. Huaman1, Michael Katzschmann1, Ludwig Herzog1Actuators 2025, 14(8), 361, DOI: doi.org/10.3390/act140803611IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
A method for dynamic interferometric characterization of air bearings for nanopositioning stages
Steffen Hesse1, Michael Katzschmann1, Alex S. Huaman1, Parastoo Salimitari1, Ludwig Herzog1Internationales Wissenschaftliches Symposium zum Welttag der Interferometrie, , Technische Universität Ilmenau, Ilmenau1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
A virtual metrology frame test setup using fiber interferometric sensors
Davi Anders Brasil1, Steffen Hesse1, Ludwig Herzog1, Thomas Fröhlich2, Thomas Kissinger222nd International Metrology Congress (CIM 2025), , Lyon, France1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstraße 29, 98693 Ilmenau, Germany