Wissenschaftliche Publikationen
Hier finden Sie alle Veröffentlichungen des IMMS seit 1997: begutachtete Konferenz-Paper / Journal-Beiträge, Fachartikel in Zeitschriften, Vorträge und Posterpräsentationen.
39 Ergebnisse
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Disturbance rejection in periodic motion with enhanced constant velocity transitions using a tilt-mirror test setup
Alex S. Huaman1. Michael Katzschmann1. Steffen Hesse1. Ludwig Herzog1.euspen Special Interest Conference: Precision Motion Systems and Control, Brabanthallen, ’s-Hertogenbosch, The Netherlands, November 12-13, 20241IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
Experimental investigation of air bearing noise by means of a 3D nanopositioning system
Parastoo Salimitari1. Steffen Hesse1. Michael Katzschmann1. Alex S. Huaman1. Ludwig Herzog1.euspen Special Interest Conference: Precision Motion Systems and Control, Brabanthallen, ’s-Hertogenbosch, The Netherlands, November 12-13, 20241IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
Investigation of distance measurement reproducibility for a long-range nanopositioning machine combined with a laser focus sensor
Davi Anders Brasil1. Steffen Hesse1. Michael Katzschmann1. Ludwig Herzog1. Thomas Fröhlich2. Thomas Kissinger2.20th International Conference on Precision Engineering (ICPE2024), Sendai, Japan, October 23-26, 20241IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. 2Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Technische Universität Ilmenau, Ilmenau, Germany. -
NPS6D200 – A Long Range Nanopositioning Stage with 6D Closed Loop Control
Steffen Hesse1. Alex Huaman1. Michael Katzschmann1. Bianca Leistritz1. Ludwig Herzog1.Appl. Sci. 2024, 14, 6972. DOI: doi.org/10.3390/app141669721IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
Investigations on tip-based large area nanofabrication and nanometrology using a planar nanopositioning machine (NFM-100)
Jaqueline Stauffenberg1. Johannes Belkner1. Denis Dontsov2. Ludwig Herzog3. Steffen Hesse3. Ivo W Rangelow1,4. Ingo Ortlepp1. Thomas Kissinger1. Eberhard Manske1.2024 Meas. Sci. Technol. 35 085011, DOI: doi.org/10.1088/1361-6501/ad46681Institute for Process Measurement and Sensor Technology, Department for Mechanical Engineering, Gustav-Kirchhoff-Straße 1, Ilmenau, Germany. 2SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, Germany. 3IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. 4nano analytik GmbH, Ehrenbergstraße 1, 98693 Ilmenau, Germany. -
Unconventional, lateral measurements with laser focus sensors for nanopositioning stages
Davi Anders Brasil1. Michael Katzschmann1. Steffen Hesse1. Ludwig Herzog1. T. Fröhlich2. T. Kissinger2.euspen Special Interest Group Meeting, "Micro/Nano Manufacturing", 28. - 29. November 2023, Ilmenau, Germany1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. 2Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Technische Universität Ilmenau, Germany. -
Robust Adaptive Tracking Control for Highly Dynamic Nanoprecision Motion Systems
Alex S. Huaman1. Johann Reger2.in Engineering for a Changing World: Proceedings; 60th ISC, Ilmenau Scientific Colloquium, Technische Universität Ilmenau, September 04-08, 2023, Ilmenau. DOI: doi.org/10.22032/dbt.587001IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Control Engineering Group, Technische Universität Ilmenau, 98693 Ilmenau, Germany. -
Vertikale Nanopositionierung mit bis zu 25 mm Verfahrweg – Hubmodule für die hochgenaue Positionierung im Raum
Stephan Gorges1. Steffen Hesse1. Ludwig Herzog1.Konstruktion (2023), 07-08, Sonderteil Antriebstechnik, Seite 28 - 31, VDI Fachmedien, ISSN 0720-5953, e-paper.vdi-fachmedien.de/konstruktion/20231IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. -
Robust Adaptive Tracking Control of a 3D Vertical Motion System for Nanometer Precision Applications
Alex S. Huaman1. Johann Reger2.22nd IFAC World Congress, Yokohama, Japan, July 9-14, 2023, IFAC-PapersOnLine, Volume 56, Issue 2, 2023, Pages 5332-5339, ISSN 2405-8963, DOI: doi.org/10.1016/j.ifacol.2023.10.177.1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Control Engineering Group, Technische Universität Ilmenau, 98693 Ilmenau, P.O. Box 10-05-65, D-98684, Ilmenau, Germany. -
Tip-based nanofabrication below 40 nm combined with a nanopositioning machine with a movement range of Ø100 mm
Jaqueline Stauffenberg1. Michael Reibe1. Anja Krötschl2. Christoph Reuter2. Ingo Ortlepp1,2. Denis Dontsov3. Steffen Hesse4. Ivo W. Rangelow1,5. Steffen Strehle2. Eberhard Manske1.Micro and Nano Engineering, Volume 19, 2023, 100201, ISSN 2590-0072, DOI: doi.org/10.1016/j.mne.2023.1002011Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Production and Precision Measurement Technology Group, Technische Universität Ilmenau, Gustav-Kirchhoff-Straße 1, Ilmenau 98693, Thuringia, Germany. 2Institute of Micro- and Nanotechnologies, Microsystems Technology Group, Technische Universität Ilmenau, Max-Planck-Ring 12, Ilmenau 98693, Thuringia, Germany. 3SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, Ilmenau 98693, Thuringia, Germany. 4IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 5nano analytik GmbH, Ehrenbergstraße 3, Ilmenau 98693, Thuringia, Germany.