Development and validation of a simplified coil model for CFD simulation of a nano-positioning planar drive system

Ina Naujokat¹, Ludwig Herzog¹, Steffen Hesse¹, Parastoo Salimitari¹

Euspen Special Interest Conference: Precision & Performance 2025, 18.11.2025 – 20.11.2025, Cranfield University, United Kingdom, Proceedings: https://www.euspen.eu/

¹IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany

Magnetische 6D-Direktantriebe mit nm-Präzision Intelligente vernetzte Mess- und Testsysteme Vortrag und Posterpräsentation

Zugehörige Inhalte

Symbolbild mit Teilen eines Präzisionsantriebs, einen Modell einer Magnetspule, deren Daten in eine als Chip mit Hirnstrukturen verbildlichte KI gehen bzw. aus ihr erzeugt werden.

Projekt

VirtuSen

Mithilfe virtueller Sensorik und KI sollen Störeinflüsse auf komplexe mechatronische Systeme wie Hochpräzisionsantriebe ortsaufgelöst erfasst und kompensiert werden können

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