Experimental characterization of thermal disturbances in a 6DOF nanopositioning system under varying operational conditions

Parastoo Salimitari¹. Steffen Hesse¹. Michael Katzschmann¹. Luwig Herzog¹.

Euspen Special Interest Conference: Precision & Performance 2025, November 18-20, 2025, Cranfield University, United Kingdom

¹IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany.

Magnetische 6D-Direktantriebe mit nm-Präzision Intelligente vernetzte Mess- und Testsysteme Begutachtete Veröffentlichung

Zugehörige Inhalte

Symbolbild mit Teilen eines Präzisionsantriebs, einen Modell einer Magnetspule, deren Daten in eine als Chip mit Hirnstrukturen verbildlichte KI gehen bzw. aus ihr erzeugt werden.

Projekt

VirtuSen

Mithilfe virtueller Sensorik und KI sollen Störeinflüsse auf komplexe mechatronische Systeme wie Hochpräzisionsantriebe ortsaufgelöst erfasst und kompensiert werden können

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