2008 Jahresbericht | Fachartikel SFB622 (de/en)
Planarmotorkonzept für die Positionierung mit Nanometerpräzision Planar Motor Concept for Positioning with Nanometer Precision Einleitung Introduction Das Erreichen von Unsicherheiten im Bereich weniger Nanometer in Verbindung mit einem Verfahrbereich von einigen 100 mm - das ist eine Zielstellung, die Forschergruppen weltweit beschäftigt. Positioning systems with uncertainties of just a few nanometers and travel ranges of 100 mm and higher - this is the ambition of many R&D institutes throughout the world. As a part of SFB 622, IMMS is…
