60 results
-
A method for dynamic interferometric characterization of air bearings for nanopositioning stages
Steffen Hesse1. Michael Katzschmann1. Alex Huaman1. Parastoo Salimitari1. Ludwig Herzog1.Ilmenauer Nacht der Interferometrie und Internationales Wissenschaftliches Symposium zum Welttag der Interferometrie, 8. - 9. April 2025, Technische Universität Ilmenau, Ilmenau1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
A virtual metrology frame test setup using fiber interferometric sensors
Davi Anders Brasil1. Steffen Hesse1. Ludwig Herzog1. Thomas Fröhlich2. Thomas Kissinger2.22nd International Metrology Congress (CIM 2025), Lyon, France, March 11-14, 20251IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Technische Universität Ilmenau. -
Experimental investigation of air bearing noise by means of a 3D nanopositioning system
Parastoo Salimitari1. Steffen Hesse1. Michael Katzschmann1. Alex S. Huaman1. Ludwig Herzog1.Special Interest Conference: Precision Motion Systems and Control, Brabanthallen’s-Hertogenbosch, Netherlands, November 12-13, 20241IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
NPS6D200 – Realization of high precision long stroke vertical actuation in conjunction with a planar direct drive
Steffen Hesse1. Michael Katzschmann1. Alex S. Huaman1. Davi-Anders Brasil1. Ludwig Herzog1.Special Interest Conference: Precision Motion Systems and Control, Brabanthallen’s-Hertogenbosch, Netherlands, November 12-13, 20241IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
Disturbance rejection in periodic motion with enhanced constant velocity transitions using a tilt-mirror test setup
Alex S. Huaman1. Michael Katzschmann1. Steffen Hesse1. Ludwig Herzog1.Special Interest Conference: Precision Motion Systems and Control, Brabanthallen’s-Hertogenbosch, Netherlands, November 12-13, 20241IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
Investigation of distance measurement reproducibility for a long-range nanopositioning machine combined with a laser focus sensor
Davi Anders Brasil1. Steffen Hesse1. Michael Katzschmann1. Ludwig Herzog1. Thomas Fröhlich2. Thomas Kissinger2.20th International Conference on Precision Engineering (ICPE2024), Sendai, Japan, October 23-26, 20241IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. 2Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Technische Universität Ilmenau, Ilmenau, Germany. -
Positionierungssystem mit einem Regler sowie Verfahren zu dessen Konfiguration
Alex S. Huaman.DE 10 2023 118 056 B3 -
NPS6D200 – A Long Range Nanopositioning Stage with 6D Closed Loop Control
Steffen Hesse1. Alex Huaman1. Michael Katzschmann1. Bianca Leistritz1. Ludwig Herzog1.Appl. Sci. 2024, 14, 6972. DOI: doi.org/10.3390/app141669721IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany.