Nominierung für den Innovationspreis Thüringen 2012 in der Kategorie INDUSTRIE & MATERIAL: Planarer magnetischer 6D-Direktantrieb für Nanometer-Positionierung

Nominierung für den Innovationspreis Thüringen 2012 in der Kategorie "Industrie & Material"
Date:
Award:
Nominierung für den Innovationspreis Thüringen 2012 in der Kategorie INDUSTRIE & MATERIAL: Planarer magnetischer 6D-Direktantrieb für Nanometer-Positionierung
Authors:
IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH Ilmenau.
Event:
XV. Innovationspreis Thüringen, 2012, Erfurt