Nominierung für den Innovationspreis Thüringen 2012 in der Kategorie INDUSTRIE & MATERIAL: Planarer magnetischer 6D-Direktantrieb für Nanometer-Positionierung

Nominierung für den Innovationspreis Thüringen 2012 in der Kategorie "Industrie & Material"

Datum:

27.11.2012

Auszeichnung:

Nominierung für den Innovationspreis Thüringen 2012 in der Kategorie INDUSTRIE & MATERIAL: Planarer magnetischer 6D-Direktantrieb für Nanometer-Positionierung

Autoren und Autorinnen:

IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH Ilmenau.

Veranstaltung:

XV. Innovationspreis Thüringen, 2012, Erfurt

Zugehörige Inhalte

Projekt

Mag6D

Das im Projekt entwickelte neuartige planare Antriebssystem ist magnetisch geführt und bewegt Objekte auf den Nanometer genau.

6D planar magnetic levitation system - PIMag 6D
Christoph Schäffel¹. Michael Katzschmann¹. Hans-Ulrich Mohr¹. Rainer Glöss². Christian Rudolf². Carolin Walenda².
JSME Mechanical Engineering Journal, Vol. 3 (2016) No. 1 p. 15-00111, The Japan Society of Mechanical Engineers, DOI: doi.org/10.1299/mej.15-00111
¹IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, D-98693 Ilmenau, Germany. ²Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Karlsruhe, Germany.
Magnetische 6D-Direktantriebe mit nm-Präzision Begutachtete VeröffentlichungMag6D
6D Planar Magnetic Levitation System – Mag6D
Christoph Schäffel¹. Michael Katzschmann¹. Hans-Ulrich Mohr¹. Rainer Gloess². Christian Rudolf². Christopher Mock². Carolin Walenda².
14th International Symposium on Magnetic Bearings, Linz, Austria, www.magneticbearings.org/publications/
¹IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, D-98693 Ilmenau, Germany. ²Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, D-76228 Karlsruhe, Germany.
Begutachtete VeröffentlichungMag6D
Planar Magnetic 6D Levitating system with Compact Sensor
Christoph Schäffel¹. Michael Katzschmann¹. Hans-Ulrich Mohr¹. Rainer Glöß². Christian Rudolf². Christopher Mock². Carolin Walenda². R. Liang².
27th Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering (ASPE), 2012, in Proceedings, ISBN 978-1-887706-61-2, p. 99-102
¹IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. ²Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Karlsruhe, Germany.
FachartikelMag6D
6D Magnetic Levitation Positioning System with Compact Integrated 6D Sensor
C. Rudolf¹. C. Mock¹. C. Walenda¹. R. Glöss¹. R. Liang¹. C. Schäffel². M. Katzschmann². H.-U. Mohr².
12th EUSPEN International Conference, 2012, in Proceedings P7.04 Vol II, ISBN 978-0-9566790-0-0
¹IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. ²Physik instrumente Karlsruhe Germany.
FachartikelMag6D

Alle Publikationen

Veranstaltung, 21.10.2012

Zwei IMMS-Vorträge auf der 27. Jahreskonferenz der American Society for Precision Engineering (ASPE) in San Diego, CA USA

»Magnetisch schwebende Plattform zur nm-Positionierung«

»Entwicklung eines hochpräzisen luftgeführten Nanopositioniersystems«

Pressemitteilung, 27.11.2012

IMMS für den Innovationspreis Thüringen 2012 nominiert

Mit magnetisch schwebendem Direktantrieb sollen künftig nanometergenau und partikelfrei Halbleiter, Life-Science- und Biotech-Produkte hergestellt werden.