Nominierung für den Innovationspreis Thüringen 2012 in der Kategorie INDUSTRIE & MATERIAL: Planarer magnetischer 6D-Direktantrieb für Nanometer-Positionierung
XV. Innovationspreis Thüringen, 2012, Erfurt
Zugehörige Inhalte
Projekt
Mag6D
Das im Projekt entwickelte neuartige planare Antriebssystem ist magnetisch geführt und bewegt Objekte auf den Nanometer genau.
6D planar magnetic levitation system - PIMag 6D
Christoph Schäffel1. Michael Katzschmann1. Hans-Ulrich Mohr1. Rainer Glöss2. Christian Rudolf2. Carolin Walenda2.JSME Mechanical Engineering Journal, Vol. 3 (2016) No. 1 p. 15-00111, The Japan Society of Mechanical Engineers, DOI: doi.org/10.1299/mej.15-00111
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, D-98693 Ilmenau, Germany. 2Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Karlsruhe, Germany.6D Planar Magnetic Levitation System – Mag6D
Christoph Schäffel1. Michael Katzschmann1. Hans-Ulrich Mohr1. Rainer Gloess2. Christian Rudolf2. Christopher Mock2. Carolin Walenda2.14th International Symposium on Magnetic Bearings, Linz, Austria, www.magneticbearings.org/publications/
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, D-98693 Ilmenau, Germany. 2Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, D-76228 Karlsruhe, Germany.Planar Magnetic 6D Levitating system with Compact Sensor
Christoph Schäffel1. Michael Katzschmann1. Hans-Ulrich Mohr1. Rainer Glöß2. Christian Rudolf2. Christopher Mock2. Carolin Walenda2. R. Liang2.27th Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering (ASPE), 2012, in Proceedings, ISBN 978-1-887706-61-2, p. 99-102
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Karlsruhe, Germany.Fachartikel6D Magnetic Levitation Positioning System with Compact Integrated 6D Sensor
C. Rudolf1. C. Mock1. C. Walenda1. R. Glöss1. R. Liang1. C. Schäffel2. M. Katzschmann2. H.-U. Mohr2.12th EUSPEN International Conference, 2012, in Proceedings P7.04 Vol II, ISBN 978-0-9566790-0-0
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Physik instrumente Karlsruhe Germany.Fachartikel
Patent
DE 10 2010 014 663
Vorrichtung zur Positionsbestimmung eines Läuferelementes in einem Planarantrieb und der-gleichen Bewegungssystem
Pressemitteilung,
IMMS für den Innovationspreis Thüringen 2012 nominiert
Mit magnetisch schwebendem Direktantrieb sollen künftig nanometergenau und partikelfrei Halbleiter, Life-Science- und Biotech-Produkte hergestellt werden.
Veranstaltung,
Zwei IMMS-Vorträge auf der 27. Jahreskonferenz der American Society for Precision Engineering (ASPE) in San Diego, CA USA
»Magnetisch schwebende Plattform zur nm-Positionierung«
»Entwicklung eines hochpräzisen luftgeführten Nanopositioniersystems«
Kontakt
Kontakt
Dr.-Ing. Ludwig Herzog
Leiter Mechatronik
ludwig.herzog(at)imms.de+49 (0) 3677 874 93 60
Dr. Ludwig Herzog gibt Ihnen Auskunft zu unserer Forschung an magnetischen 6D-Direktantrieben mit nm-Präzision für die nm-Vermessung und -Strukturierung von Objekten. Er unterstützt Sie mit Dienstleistungen für die Entwicklung mechatronischer Systeme, für Simulation, Design und Test von MEMS sowie für Finite-Elemente-Modellierung und Simulation.