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Current Publication

6D Magnetic Levitation Positioning System with Compact Integrated 6D Sensor

C. Rudolf1. C. Mock1. C. Walenda1. R. Glöss1. R. Liang1. C. Schäffel2. M. Katzschmann2. H.-U. Mohr2.

12th EUSPEN International Conference, 2012, in Proceedings P7.04 Vol II, ISBN 978-0-9566790-0-0

1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Physik instrumente Karlsruhe Germany.
ArticleMag6D

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Project

Mag6D

Within the project a novel planar drive system was developed which is magnetically guided and moves objects with nanometer precision.

Award

Nominierung für den Innovationspreis Thüringen 2012 in der Kategorie INDUSTRIE & MATERIAL: Planarer magnetischer 6D-Direktantrieb für Nanometer-Positionierung

IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH Ilmenau

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