Falk Eisenreich,
Marco Götze
Silvia Krug
Tino Hutschenreuther
Kathrin Veigel
in elektroniknet.de, 22. August 2024, https://www.elektroniknet.de/smarter-world/energieautarkes-system-behaelt-feinstaub-permanent-im-blick.219767.html
Leitanwendung nm-Vermessung und -Strukturierung von Objekten: Um beispielsweise die immer höhere Komplexität integrierter Systeme auf immer kleineren Halbleiterflächen fertigen zu können, forschen wir an immer präziseren Antrieben zur Nanometer-Vermessung und -Strukturierung von Objekten.
Forschungsfeld Magnetische 6D-Direktantriebe mit nm-Präzision: Um die Fertigung makroskopischer High-Tech-Produkte mit mikroskopischer Präzision zu ermöglichen, forschen wir an wissenschaftlichen Grundlagen und technischen Lösungen für Nanopositioniersysteme für große Bewegungsbereiche.