Wissenschaftliche Publikationen
Hier finden Sie alle Veröffentlichungen des IMMS seit 1997: begutachtete Konferenz-Paper / Journal-Beiträge, Fachartikel in Zeitschriften, Vorträge und Posterpräsentationen.
46 Ergebnisse
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NPS6D200 – A Long Range Nanopositioning Stage with 6D Closed Loop Control
Steffen Hesse1, Alex S. Huaman1, Michael Katzschmann1, Bianca Leistritz1, Ludwig Herzog1Applied Sciences 2024, 14(16), 6972, DOI: doi.org/10.3390/app141669721IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
Investigations on tip-based large area nanofabrication and nanometrology using a planar nanopositioning machine (NFM-100)
Jaqueline Stauffenberg1, Johannes Belkner1, Denis Dontsov2, Ludwig Herzog3, Steffen Hesse3, Ivo W Rangelow1,4, Ingo Ortlepp1, Thomas Kissinger1, Eberhard Manske1in Meas. Sci. Technol., vol. 35, no. 8, pp. 085011, 2024, DOI: doi.org/10.1088/1361-6501/ad46681Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, Germany, 2SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, Germany, 3IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 4nano analytik GmbH, Ehrenbergstraße 3, 98693 Ilmenau, Thuringia, Germany -
Unconventional, lateral measurements with laser focus sensors for nanopositioning stages
Davi Anders Brasil1, Michael Katzschmann1, Steffen Hesse1, Ludwig Herzog1, Thomas Fröhlich2, Thomas Kissinger2euspen Special Interest Group Meeting, "Micro/Nano Manufacturing", , Ilmenau, Germany1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, Germany -
Robust Adaptive Tracking Control for Highly Dynamic Nanoprecision Motion Systems
Alex S. Huaman1, Johann Reger2in Engineering for a Changing World: Proceedings; 60th ISC, Ilmenau Scientific Colloquium, Technische Universität Ilmenau, , Ilmenau, Germany, DOI: doi.org/10.22032/dbt.587001IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Department of Computer Science and Automation, Control Engineering Group, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany -
Vertikale Nanopositionierung mit bis zu 25 mm Verfahrweg – Hubmodule für die hochgenaue Positionierung im Raum
Stephan Gorges1, Steffen Hesse1, Ludwig Herzog1Konstruktion (2023), 07-08, Sonderteil Antriebstechnik, 2023, Seite 28-31, ISSN 0720-5953, https://e-paper.vdi-fachmedien.de/konstruktion1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
Robust Adaptive Tracking Control of a 3D Vertical Motion System for Nanometer Precision Applications
Alex S. Huaman1, Johann Reger2in IFAC-PapersOnLine, vol. 56, 2, pp. 5332-5339, 2023, DOI: doi.org/10.1016/j.ifacol.2023.10.1771IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Department of Computer Science and Automation, Control Engineering Group, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany -
Tip-based nanofabrication below 40 nm combined with a nanopositioning machine with a movement range of Ø100 mm
Jaqueline Stauffenberg1, Michael Reibe1, Anja Krötschl2, Christoph Reuter2, Ingo Ortlepp1, Denis Dontsov3, Steffen Hesse4, Ivo W Rangelow1,5, Steffen Strehle2, Eberhard Manske1in Micro and Nano Engineering, vol. 19, June 23, pp. 100201, 2023, DOI: doi.org/10.1016/j.mne.2023.1002011Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Institute of Micro- and Nanotechnologies, Microsystems Technology Group, Max-Planck-Ring 12, 98693 Ilmenau, Thuringia, Germany, 3SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, Germany, 4IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 5nano analytik GmbH, Ehrenbergstraße 3, 98693 Ilmenau, Thuringia, Germany -
Operation and performance evaluation of vertical nanopositioners for 10 mm stroke in a 3D lift and tilt test setup
Steffen Hesse1, Michael Katzschmann1, Alex S. Huaman1, Stephan Gorges1, Eberhard Manske2euspen – Special Interest Group Meeting: Precision Motion Systems & Control, , ’s-Hertogenbosch, Netherlands1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, Germany -
Robust Tracking Control with L1 Adaptive Augmentation for a Long Stroke Vertical Nanopositioning System: Part II
Alex S. Huaman1, Johann Reger22022 IEEE Conference on Control Technology and Applications (CCTA), , Trieste, Italy, pp. 621-627, DOI: doi.org/10.1109/CCTA49430.2022.99659931IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Department of Computer Science and Automation, Control Engineering Group, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany -
Robust Tracking Control with L1 Adaptive Augmentation for a Long-Stroke Vertical Nanopositioning System: Part I
Alex S. Huaman1, Johann Reger22022 IEEE Conference on Control Technology and Applications (CCTA), , Trieste, Italy, pp. 614-620, DOI: doi.org/10.1109/CCTA49430.2022.99661031IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Department of Computer Science and Automation, Control Engineering Group, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany