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Interferometric controlled planar nanopositioning system with 100mm circular travel range
S. Hesse1. C. Schäffel1. M. Katzschmann1. H. -J. Büchner2.Denver, USA: ASPE 26th Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering. in Proceedings, CD-ROM1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Technische Universität Ilmenau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik.Article -
Interferometric controlled planar positioning system with zerodur slider
S. Hesse1. C. Schäffel1. H-U. Mohr1. H. -J. Büchner2.Ilmenau. In Proceedings. 56. Int. wissenschaftliches Kolloquium der TU Ilmenau. URN: urn:nbn:de:gbv:ilm1-2011iwk-103:11IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Technische Universität Ilmenau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik.Article SFB622 -
Interferometric controlled planar positioning system with zerodur slider
S. Hesse1. C. Schäffel1. H-U. Mohr1. H. -J. Büchner2.Ilmenau: 56. IWK der TU Ilmenau. 12.09. - 16.09.20111IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Technische Universität Ilmenau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik.Talk -
Interferometric Test Station for Parallel Inspection of MEMS
C. Schäffel1. S. Michael1. R. Paris1. A. Frank1. N. Zeike1. K. Gastinger2. M. Kujawinska3. U. Zeitner4. S. Beer. 5.Dresden: 5. Tagung 'Feinwerktechnische Konstruktion'. 03.11.20111IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstr. 27, D-98693 Ilmenau, Germany. 2NTNU Trondheim, before SINTEF IKT Optical measurement systems and data analysis, N-7465 Trondheim, Norway. 3Institute of Micromechanics and Photonics, Warsaw University of Technology, 8 Sw. A. Boboli St.,Pl-02-525 Warsaw, Poland. 4Fraunhofer IOF, A.-Einstein-Str. 7, 07745 Jena, Germany. 5CSEM Centre Suisse d’Electronique et de Microtechnique SA, Technoparkstr. 1, CH-8005 Zurich, Switzerland.Talk -
Interferometric Test Station for Parallel Inspection of MEMS
C. Schäffel1. S. Michael1. R. Paris1. A. Frank1. N. Zeike1. K. Gastinger2. M. Kujawinska3. U. Zeitner4. S. Beer5.Dresden: 5. Tagung 'Feinwerktechnische Konstruktion'. 141.30.123.140/feinwerkwiki/index.php/5._Tagung_Feinwerktechnische_Konstruktion1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstr. 27, D-98693 Ilmenau, Germany. 2NTNU Trondheim, before SINTEF IKT Optical measurement systems and data analysis, N-7465 Trondheim, Norway. 3Institute of Micromechanics and Photonics, Warsaw University of Technology, 8 Sw. A. Boboli St.,Pl-02-525 Warsaw, Poland. 4Fraunhofer IOF, A.-Einstein-Str. 7, 07745 Jena, Germany. 5CSEM Centre Suisse d’Electronique et de Microtechnique SA, Technoparkstr. 1, CH-8005 Zurich, Switzerland.Article -
Interferometrically controlled, scalable x-y planar positioning stage concept
Ilko Rahneberg1. Enrico Langlotz1. Denis Dontsov1. Steffen Hesse2. Jaqueline Stauffenberg3. Eberhard Manske3.Special Interest Group Meeting: Micro/Nano Manufacturing, 17 – 18 November 2021, Virtual1SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, Germany. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 3Technische Universität Ilmenau, Production and Precision Measurement Technology, Gustav-Kirchhoff-Straße 1, 98693 Ilmenau, Germany. -
Investigation of detectors for optical pick-up systems for DVD applications
J. Klein1. St. Lange1.session of the conference SENOR 2003, Mai 20031IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Poster presentation -
Investigation of distance measurement reproducibility for a long-range nanopositioning machine combined with a laser focus sensor
Davi Anders Brasil1. Steffen Hesse1. Michael Katzschmann1. Ludwig Herzog1. Thomas Fröhlich2. Thomas Kissinger2.20th International Conference on Precision Engineering (ICPE2024), Sendai, Japan, October 23-26, 20241IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. 2Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Technische Universität Ilmenau, Ilmenau, Germany. -
Investigation of thermal and non-linear effects on the performance of the power amplifier - BAW filter - chain in a LTE transmitter
Uwe Stehr1. J. Stegner1. V. Chauhan2. V. Silva2. R. Weigel2. A. Hagelauer2. Astrid Frank3. Steffen Michael3. M. A. Hein1.2018 IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS 2018, 22-25 October 2018, Kobe, Japan1RF and Microwave Research Group, Technische Universität Ilmenau, 98693 Ilmenau, Germany. 2Institute for Electronics Engineering, University of Erlangen-Nuremberg, 91058 Erlangen, Germany. 3IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. -
Investigations of metal systems in a silicon ceramic composite substrate for electrical and thermal contacts as well as associated mounting aspects
M. Fischer1. T. Welker1. B. Leistritz2. S. Gropp1. C. Schäffel2. M. Hoffmann1. J. Müller1.Ceramic Interconnect and Ceramic Microsystems Technologies, Additional Conferences (Device Packaging, HiTEC, HiTEN, & CICMT): May 2016, Vol. 2016, No. CICMT, pp. 000107-000110, DOI: dx.doi.org/10.4071/2016CICMT-WA221Technische Universität Ilmenau, IMN MacroNano®, Ilmenau, Germany. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, D-98693 Ilmenau, Germany.