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271. Annual Report 2012

Annual Report 2012 A N N U A L R E P O RT 2012 Publishing Details Contents 4 6 8 Publisher Institut für Mikroelektronik- und MechatronikSysteme gemeinnützige GmbH* Ehrenbergstraße 27 D-98693 Ilmenau +49.3677.6955.00 Tel +49.3677.6955.15 Fax imms@imms.de http://www.imms.de Editing and Proof Reading Prof. Dr.-Ing. Ralf Sommer Dipl.-Ing. Hans-Joachim Kelm Dipl.-Hdl. Dipl.-Des. Beate Hövelmans Translation Susan Kubitz, www.QualityTranslations.de 10 11 Design, Photographs and Illustrations Dipl.-Hdl. Dipl.-Des. Beate Hövelmans 12 16 17 21 Typography and Information Graphics Dipl.-Hdl.…

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272. Modulare IoT-Plattform für Umweltmonitoring

Modulare IoT-Plattform für Umweltmonitoring

Pressemitteilungen

273. Praktika, HiWi-Jobs, Bachelor- und Master-Arbeiten

Studentinnen und -Studenten geben in einem Video einen Überblick über ihre Arbeiten am IMMS

Pressemitteilungen

274. Neuer Themenbereichsleiter für Mechatronik

Dr.-Ing. Ludwig Herzog, Leiter Mechatronik. Foto: IMMS.

Dr.-Ing. Ludwig Herzog leitet seit dem 01.12.2022 das Mechatronik-Team des IMMS

Pressemitteilungen

275. IMMS für den XXV. Innovationspreis Thüringen 2022 nominiert

Das IMMS wurde für den XXV. Innovationspreis Thüringen 2022 am 30.11.2022 in Weimar mit einer Nominierung in der Kategorie „Industrie und Material“ gewürdigt. Foto: STIFT.

Skalierbare Ultraschall- und Volumenstrom-Sensorplattform für die Optimierung der Energieeffizienz in der Industrie

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276. Nominierung für den XXV. Innovationspreis Thüringen 2022 in der Kategorie „Industrie und Material“: Skalierbare Ultraschall- und Volumenstrom-Sensorplattform für die Optimierung der Energieeffizienz in der Industrie

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279. Operation and performance evaluation of vertical nanopositioners for 10 mm stroke in a 3D lift and tilt test setup

Steffen Hesse, Michael Katzschmann Alex S. Huaman Stephan Gorges Eberhard Manske euspen – Special Interest Group Meeting: Precision Motion Systems & Control, 15th – 16th November 2022, s-Hertogenbosch, The Netherlands, NL

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280. NFM-100

Hochgenaues Präzisionsantriebssystem mit räumlichen (6D) Positioniergenauigkeiten im einstelligen nm-Bereich.

Für die Grundlagenforschung zur Nanomesstechnik und Nanofabrikation der TU Ilmenau wurde mit der Nanofabrikationsmaschine NFM-100 ein System realisiert, welches zum einen die Abtastung von Oberflächen (AFM) und zum anderen die Bearbeitung mittels Feldemissions-Rastersondenlithographie erstmalig in einem xy-Verfahrbereich von Ø100 mm möglich macht.