Wissenschaftliche Publikationen
Hier finden Sie alle Veröffentlichungen des IMMS seit 1997: begutachtete Konferenz-Paper / Journal-Beiträge, Fachartikel in Zeitschriften, Vorträge und Posterpräsentationen.
1226 Ergebnisse
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NPS6D200 – A Long Range Nanopositioning Stage with 6D Closed Loop Control
Steffen Hesse1, Alex S. Huaman1, Michael Katzschmann1, Bianca Leistritz1, Ludwig Herzog1Applied Sciences 2024, 14(16), 6972, DOI: doi.org/10.3390/app141669721IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
NPS6D200 – Realization of high precision long stroke vertical actuation in conjunction with a planar direct drive
Steffen Hesse1, Michael Katzschmann1, Alex S. Huaman1, Davi Anders Brasil1, Ludwig Herzog1euspen Special Interest Conference: Precision Motion Systems and Control, , Brabanthallen ’s-Hertogenbosch, Netherlands1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
NPS6D200: Long-Range-6D-Nanopositionierung mit interferometrischem Feedback für das Closed-Loop-Regelungssystem
Steffen Hesse1Experten-Tag für Präzisionsmesstechnik, , bei SIOS Meßtechnik GmbH, Ilmenau, Germany1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
Nutzung der Hörbarmachung von Ultraschallsignalen zur (werkstofflichen) Zustandsbewertung von Maschinen- und Bauteilen
Nicki Bader1, Peter Holstein1, Andreas Tharandt1, Sebastian Uziel2, Tino Hutschenreuther2DAGA 2019, 45. Jahrestagung für Akustik, , Rostock1SONOTEC GmbH, Thüringer Straße 33, 6112 Halle, Germany, 2IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
OKTOPUS: Anwendungsfelder Halbleitertest
Dr. K. Förster1.Projektabschluss-Meeting, 05.10.-07.10.2010, Randolfzell1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Posterpräsentation -
On the Role of Wireless Sensor Networks for Intelligent Transportation Systems
Silvia Krug1, Jochen Seitz1, Elena Chervakova2, Hannes Toepfer2Sense. Enable. SPITSE 2016, , Moskau, Russland1Technische Universität Ilmenau, Department of Electrical Engineering and Information Technology, Institute for Information Technology, Communication Networks Group, 98694 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany, 2IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
One-step autozeroing two-stage amplifier with floating-gate memory cells
D. Kirsten1. V. Schulze1. D. Nuernbergk1.DATE 2009, 20.-24. April 2009, Nizza, France1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Posterpräsentation -
Ontwikkeling van apparatuur vor materiaalonderzoek onder hoogvacuüm (Devices for the examination of materials and pairings of materials in standard atmosphere and ultra high vacuum
F. Spiller1. O. Mollenhauer2. M. Scherge.Constructeur, Verlag ten Hagen & Stam, Den Haag, 2001, 40. Jahrgang, ISSN 0010-66581IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2TETRA GmbH.Fachartikel -
Operation and performance evaluation of vertical nanopositioners for 10 mm stroke in a 3D lift and tilt test setup
Steffen Hesse1, Michael Katzschmann1, Alex S. Huaman1, Stephan Gorges1, Eberhard Manske2euspen – Special Interest Group Meeting: Precision Motion Systems & Control, , ’s-Hertogenbosch, Netherlands1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstraße 29, 98693 Ilmenau, Germany -
Optical detected magnetic resonance (ODMR) of ASi-Sii defects: case of acceptor indium
Kevin Lauer1,2, Bernd Hähnlein1, Mario Bähr1, Kai Kühnlenz1, Stefan Krischok2, Alexander Rolapp3, Christian Möller1, Thomas Ortlepp14th DRD3 week on Solid State Detectors R&D, , CERN, Zürich, Schweiz1CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, Konrad-Zuse-Str. 14, 99099 Erfurt, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Institut für Physik, Weimarer Str. 32, 98693 Ilmenau, Germany, 3IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany