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Michael Muth, AeroLas

Dipl.-Ing. Michael Muth, Geschäftsführer AeroLas GmbH, Unterhaching. Foto: privat.

„Wir schätzen die Zusammenarbeit mit dem IMMS bereits seit vielen Jahren. Die Ergebnisse des Projektes bilden für AeroLas die Basis für künftige kundenspezifische Produktdesigns. IMMS ist aufgrund seiner hervorragenden Expertise im Bereich der magnetischen Antriebstechnologie für uns ein wichtiger Partner für weitere Entwicklungen.“

„In einem Forschungs- und Entwicklungsprojekt haben wir gemeinsam mit dem IMMS und der TU-Ilmenau einen konzeptionell neuartigen Ansatz für ein aerostatisches Führungselement verfolgt. Im Ergebnis der sehr erfolgreichen Zusammenarbeit entstand ein kompaktes Vertikalführungselement mit integriertem magnetischen Vertikalaktor sowie einer leistungslosen pneumatischen Gewichtskraftkompensation. Dieses aktive Führungselement gestattet eine Regelbarkeit der Vertikalposition mit Nanometer-Präzision, wobei für das Tragen der Nutzlast praktisch keine elektrische Verlustleistung und damit störende Wärme entsteht.

Besonders interessant sind diese Elemente für Antriebssysteme, die Positionier- und Messunsicherheiten im Nanometer-Bereich erfordern, z.B. für die Fertigung von Displays oder die optische Vermessung von Masken und Wafern.

Wir schätzen die Zusammenarbeit mit dem IMMS, insbesondere seine professionelle zielgerichteten Arbeitsweise, bereits seit vielen Jahren. Die Ergebnisse des Projektes bilden für AeroLas die Basis für künftige kundenspezifische Produktdesigns. IMMS ist aufgrund seiner hervorragenden Expertise im Bereich der magnetischen Antriebstechnologie für uns ein wichtiger Partner für weitere Entwicklungen.“

Die Referenz bezieht sich auf:

Kontakt

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Dr.-Ing. Frank Spiller

Kommissarischer Leiter Mechatronik

frank.spiller(at)imms.de+49 (0) 3677 874 93 61

Dr. Frank Spiller gibt Ihnen Auskunft zu unserer Forschung an magnetischen 6D-Direktantrieben mit nm-Präzision für die nm-Vermessung und -Strukturierung von Objekten. Er unterstützt Sie mit Dienstleistungen für die Entwicklung mechatronischer Systeme, für Simulation, Design und Test von MEMS sowie für Finite-Elemente-Modellierung und Simulation.

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