Michael Muth, AeroLas
„Wir schätzen die Zusammenarbeit mit dem IMMS bereits seit vielen Jahren. Die Ergebnisse des Projektes bilden für AeroLas die Basis für künftige kundenspezifische Produktdesigns. IMMS ist aufgrund seiner hervorragenden Expertise im Bereich der magnetischen Antriebstechnologie für uns ein wichtiger Partner für weitere Entwicklungen.“
„In einem Forschungs- und Entwicklungsprojekt haben wir gemeinsam mit dem IMMS und der TU-Ilmenau einen konzeptionell neuartigen Ansatz für ein aerostatisches Führungselement verfolgt. Im Ergebnis der sehr erfolgreichen Zusammenarbeit entstand ein kompaktes Vertikalführungselement mit integriertem magnetischen Vertikalaktor sowie einer leistungslosen pneumatischen Gewichtskraftkompensation. Dieses aktive Führungselement gestattet eine Regelbarkeit der Vertikalposition mit Nanometer-Präzision, wobei für das Tragen der Nutzlast praktisch keine elektrische Verlustleistung und damit störende Wärme entsteht.
Besonders interessant sind diese Elemente für Antriebssysteme, die Positionier- und Messunsicherheiten im Nanometer-Bereich erfordern, z.B. für die Fertigung von Displays oder die optische Vermessung von Masken und Wafern.
Wir schätzen die Zusammenarbeit mit dem IMMS, insbesondere seine professionelle zielgerichteten Arbeitsweise, bereits seit vielen Jahren. Die Ergebnisse des Projektes bilden für AeroLas die Basis für künftige kundenspezifische Produktdesigns. IMMS ist aufgrund seiner hervorragenden Expertise im Bereich der magnetischen Antriebstechnologie für uns ein wichtiger Partner für weitere Entwicklungen.“
Die Referenz bezieht sich auf:
Dienstleistung
Entwicklung mechatronischer Systeme
Wir entwickeln Aktorsysteme, Steuerungen und Regelungen als eingebettete Lösungen nach Kundenspezifikation mit höchsten Anforderungen an Präzision, Dynamik, verfügbaren Bauraum, Performance und Effizienz.
Forschungsfeld
Magnetische 6D-Direktantriebe mit nm-Präzision
Um die Fertigung makroskopischer High-Tech-Produkte mit mikroskopischer Präzision zu ermöglichen, forschen wir an wissenschaftlichen Grundlagen und technischen Lösungen für Nanopositioniersysteme für große Bewegungsbereiche.
Leitanwendung
nm-Vermessung und -Strukturierung von Objekten
Um beispielsweise die immer höhere Komplexität integrierter Systeme auf immer kleineren Halbleiterflächen fertigen zu können, forschen wir an immer präziseren Antrieben zur Nanometer-Vermessung und -Strukturierung von Objekten.
Projekt
AFiA
Das IMMS hat einen Vertikalantrieb entwickelt, der Objekte in einem Hebe- bzw. Senkbereich von 10 mm aktiv geregelt mit Nanometer-Präzision bewegt.
Kontakt
Kontakt
Dr.-Ing. Ludwig Herzog
Leiter Mechatronik
ludwig.herzog(at)imms.de+49 (0) 3677 874 93 60
Dr. Ludwig Herzog gibt Ihnen Auskunft zu unserer Forschung an magnetischen 6D-Direktantrieben mit nm-Präzision für die nm-Vermessung und -Strukturierung von Objekten. Er unterstützt Sie mit Dienstleistungen für die Entwicklung mechatronischer Systeme, für Simulation, Design und Test von MEMS sowie für Finite-Elemente-Modellierung und Simulation.