1755 results
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Piezoelectric AIN-biomorph benders as low-frequent, resonant microactuators with large travel range
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Ein- und mehrlagige vertikale Comb-Drive-Strukturen zur kapazitiven, niederfrequenten Energiegewinnung
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Ein- und mehrlagige vertikale Comb-Drive-Strukturen zur kapazitiven, niederfrequenten Energiegewinnung