Annual Report 2021
ANNUAL REPORT 2021 2 Contents >>Integrated sensor systems 3 Foreword 101 Magnetic 6D direct drives with >>Distributed 5 Obituary Dr.-Ing. Christoph Schäffel nanometre precision measurement + 6 25 years of IMMS 102 Highlights of 2021 in our research test systems on Magnetic 6D direct drives with >>Mag6D nm 31 Voices from industry and nanometre precision direct drives academia on current projects 107 Investigations on tracking control of > Contents 39 Working hand in hand with the vertical motion systems for nano- *…
Jahresbericht 2021
JAHRESBERICHT 2021 2 Inhalt >>Integrierte Sensorsysteme 101 Magnetische 6D-Direktantriebe >>Intelligente ver- mit Nanometer-Präzision netzte Mess- u. 5 Nachruf Dr.-Ing. Christoph Schäffel 102 Highlights 2021 im Forschungsfeld Testsysteme 6 25 Jahre IMMS Magnetische 6D-Direktantriebe mit >>Mag6D-nm- Nanometer-Präzision Direktantriebe 31 Stimmen aus Industrie und Wissenschaft 107 Untersuchungen zur Positionsregelung > Inhalt zu aktuellen Projekten von vertikalen Bewegungssystemen * Förderung 39 Kooperation mit der Technischen …
2021 Jahresbericht | Fachartikel NanoFab (en/de): Untersuchungen zur Positionsregelung von vertikalen Bewegungssystemen für Präzisionsanwendungen im Nanometerbereich
Annual Report 2022
NOMINIERT ANNUAL REPORT 2022 Contents 2 >>Integrated 3 Foreword 71 Specialist article: Single-photon counting sensor systems 5 New head of Mechatronics and picosecond-accurate measurements >>Distributed 5 Head of Corporate Communications for research in quantum technology measurement + 6 Relaunch of the website 77 Specialist article: Testbench in hardware: test systems AMS ASIC Scope for validation of AI-based >>Mag6D nm simulation methods in chip design direct drives 7 Working hand in hand with Ilmenau TU 10 Obituary Prof. Dr.-Ing.…
