Annual Report 2021
ANNUAL REPORT 2021 2 Contents >>Integrated sensor systems 3 Foreword 101 Magnetic 6D direct drives with >>Distributed 5 Obituary Dr.-Ing. Christoph Schäffel nanometre precision measurement + 6 25 years of IMMS 102 Highlights of 2021 in our research test systems on Magnetic 6D direct drives with >>Mag6D nm 31 Voices from industry and nanometre precision direct drives academia on current projects 107 Investigations on tracking control of > Contents 39 Working hand in hand with the vertical motion systems for nano- *…
Jahresbericht 2021
JAHRESBERICHT 2021 2 Inhalt >>Integrierte Sensorsysteme 101 Magnetische 6D-Direktantriebe >>Intelligente ver- mit Nanometer-Präzision netzte Mess- u. 5 Nachruf Dr.-Ing. Christoph Schäffel 102 Highlights 2021 im Forschungsfeld Testsysteme 6 25 Jahre IMMS Magnetische 6D-Direktantriebe mit >>Mag6D-nm- Nanometer-Präzision Direktantriebe 31 Stimmen aus Industrie und Wissenschaft 107 Untersuchungen zur Positionsregelung > Inhalt zu aktuellen Projekten von vertikalen Bewegungssystemen * Förderung 39 Kooperation mit der Technischen …