Annual Report 2021
ANNUAL REPORT 2021 2 Contents >>Integrated sensor systems 3 Foreword 101 Magnetic 6D direct drives with 5 Obituary Dr.-Ing. Christoph Schäffel nanometre precision measurement + 6 25 years of IMMS 102 Highlights of 2021 in our research test systems on Magnetic 6D direct drives with 31 Voices from industry and academia on current projects 39 Working hand in hand with the Technische Universität Ilmenau nanometre precision >>Distributed >>Mag6D nm direct drives 107 Investigations on tracking control of > Contents vertical…
Jahresbericht 2021
JAHRESBERICHT 2021 2 Inhalt >>Integrierte Sensorsysteme 3 Vorwort 101 Magnetische 6D-Direktantriebe mit Nanometer-Präzision 5 Nachruf Dr.-Ing. Christoph Schäffel 6 25 Jahre IMMS zu aktuellen Projekten 39 Kooperation mit der Technischen Universität Ilmenau netzte Mess- u. 102 Highlights 2021 im Forschungsfeld Testsysteme Magnetische 6D-Direktantriebe mit >>Mag6D-nm- Nanometer-Präzision 31 Stimmen aus Industrie und Wissenschaft >>Intelligente ver- Direktantriebe 107 Untersuchungen zur Positionsregelung > Inhalt von vertikalen…
2021 Jahresbericht | Fachartikel NanoFab (en/de): Untersuchungen zur Positionsregelung von vertikalen Bewegungssystemen für Präzisionsanwendungen im Nanometerbereich