1161. SMARTIEHS - The interferometric test station for parallel inspection of MEMS and MOEMS   K. Gastinger, M. Kujawinska U. Zeitner C. Gorecki Dr. Ch. Schäffel 11th Scientific Conference Optoelectronic and Electronic Sensors COE, 20.06-23.06.2010, Polen  

  1162. Planar Magnetic Drives and Bearings for Multi-Axis Nanopositioning Machines with Large Travel Ranges.   T. Sattel, R. Volkert S. Hesse Dr. Ch. Schäffel Actuator 2010, 14.06.-16.06.2010, Bremen  

  1163. Erfolgskritisches Wissen bewerten und entwickeln - Praxisbericht   Dr. W. Sinn, TU Ilmenau (Ringvorlesung), 08.06.2010, Ilmenau  

  1164. Realisierung eines PDICs für 12fach Blu-ray-Disc-RW Laufwerke mit Hilfe neuartiger effizienter Entwurfsmethodiken   S. Lange, Dr. B. Dimov Dr. T. Reich Dr. E. Hennig Kleinheubacher Tagung 2010, 04.-06.10.2010, Miltenberg  

  1165. First results of an interferometric controlled planar positioning system for 100 mm with zerodur slider   S. Hesse, H.-J. Büchner Prof. Dr. G. Jäger Dr. Ch. Schäffel H.-U. Mohr B. Leistritz 10. International Conference of the Euspen Society for Precision Engineering & Nanotechnology, 31.05.-04.06.2010, Delft, Niederlande  

  1166. Optical, mechanical and electro-optical design of an interferometric test station for massive parallel inspection of MEMS and MOEMS   Dr. Ch. Schäffel, S. Michael B. Leistritz M. Katzschmann N. Zeike K. Gastinger M. Kujawinska M. Jozwik S. Beer 10. International Conference of the Euspen Society for Precision Engineering & Nanotechnology, 31.05.2010-04.06.2010, Delft, Niederlanden  

  1167. First results of an interferometric controlled planar positioning system for 100 mm with zerodur slider   S. Hesse, H.-J. Büchner Prof. Dr. G. Jäger Dr. Ch. Schäffel H. U. Mohr B. Leistritz 10. International Conference of the Euspen Society for Precision Engineering & Nanotechnology, 31.05.-04.06.2010, Delft, Niederlande  

  1168. Konvergenz von Navigation und Sensorik - Quelle neuer Wertschöpfung   Dr. W. Sinn, 5. Silicon Saxony Day, Workshop, 19.05.2010, Dresden  

  1169. Ein Fotodetektor-IC für Blu-ray-Disc-Laufwerke mit 12-facher Schreib- und Lesegeschwindigkeit   Dr. E. Hennig, 5. Silicon Saxony Day, Mikroelektronik-Forum, 19.05.2010, Dresden  

  1170. EDADB - eine Infrastruktur zur Dokumentation und Wiederverwendung von Schaltungstopologien   Dr. V. Boos, DASS 2010, 18.05.-19.05.2010, Dresden