Publications overview –SFB622
Vergleich der Scan-Perfomance bei Nanopositioniersystemen mit großem Bewegungsbereich
Jaqueline Stauffenberg1, Ingo Ortlepp1, Ulrike Blumröder1, Denis Dontsov2, Christoph Schäffel3, Mathias Holz4, Ivo W. Rangelow5, Eberhard Manske1in tm – Technisches Messen, vol. 81, no. 6, pp. 335–342, 2014, DOI: dx.doi.org/10.1515/teme-2014-03581Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, Germany, 2SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, Germany, 3IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 4nano analytik GmbH, Ehrenbergstraße 3, 98693 Ilmenau, Thuringia, Germany, 5Technische Universität Ilmenau, Department of Mechanical Engineering, Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Nanoscale Systems Group, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, GermanyPositioning performance of a planar nanopositioning system with 100mm circular travel range
St. Hesse1. C. Schäffel1. M. Katzschmann1. H.-J. Büchner2.27th Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering (ASPE), 2012, in Proceedings, ISBN 978-1-887706-61-2, p. 103-106
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Technische Universität Ilmenau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ilmenau, Germany.ArticleInterferometric controlled planar positioning system with zerodur slider
S. Hesse1. C. Schäffel1. H-U. Mohr1. H.-J. Büchner2.Ilmenau. In Proceedings. 56. Int. wissenschaftliches Kolloquium der TU Ilmenau. URN: urn:nbn:de:gbv:ilm1-2011iwk-103:1
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Technische Universität Ilmenau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik.ArticleAuf den Punkt gebracht - Nahezu reibungsfreies Nanopositioniersystem mit großem Verfahrbereich
S. Hesse1.Erschienen in Antriebstechnik - Konstruktion, Entwicklung und Anwendung von Antrieben und Steuerungen, 11/2010
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Article