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Interferometric controlled planar positioning system with zerodur slider
S. Hesse1.
C. Schäffel1.
H-U. Mohr1.
H.-J. Büchner2.
Ilmenau. In Proceedings. 56. Int. wissenschaftliches Kolloquium der TU Ilmenau. URN: urn:nbn:de:gbv:ilm1-2011iwk-103:1
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
2Technische Universität Ilmenau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik.
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