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Auf den Punkt gebracht - Nahezu reibungsfreies Nanopositioniersystem mit großem Verfahrbereich
S. Hesse1.
Erschienen in Antriebstechnik - Konstruktion, Entwicklung und Anwendung von Antrieben und Steuerungen, 11/2010
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
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