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Measurement Precision of a Planar Nanopositioning Machine with a Range of Motion of Ø100 mm
Jaqueline Stauffenberg1. Ingo Ortlepp1. Johannes Belkner1. Denis Dontsov2. Enrico Langlotz2. Steffen Hesse3. Ivo Rangelow4. Eberhard Manske1.Applied Sciences. 2022; 12(15):7843. DOI: doi.org/10.3390/app121578431Production and Precision Measurement Technology Group, Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Technische Universität Ilmenau, Gustav-Kirchhoff-Straße 1, 98693 Ilmenau, Germany. 2SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, Germany. 3IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 4nano analytik GmbH, Ehrenbergstraße 1, 98693 Ilmenau, Germany. -
Measuring and Optimizing Efficiency of Electrostatic Energy Harvesters for Sensor Applications
Bjoern Bieske1. Gerrit Kropp1. Alexander Rolapp1.Sensorica 2017, IEEE Workshop, d-nb.info/1137195215, 8-9 June 2017, Mülheim an der Ruhr1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. -
Mechatronic Analysis and Design of High-Precision Drives
E. Kallenbach2. P. Maißer2. J. Lückel2. E. Saffert2. Ch. Schäffel1. H. Freudenberg2. W. Kuhlbusch2.ASPE, Annual Meeting, Norfolk, Virginia, Proc. P 507-510, Oktober 19971IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2TU Ilmenau.Talk -
Mechatronik - eine interdisziplinäre Herausforderung
G. Scarbata1.EUROFORUM, Fachkonferenz für die Automobilindustrie, 15.04.-16.04.031IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Talk -
Meeting ASEDA Projekt - ANASTASIA - WP3.1
St. Lange1.München, Juli 20011IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Talk -
Meeting ASEDA Projekt ANASTASIA - WP2
R. Kindt1.Meylan, Juni 20011IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Talk -
Mehr Transparenz in der Produktion und in Prozessen durch nachrüstbare Sensorik
Jörg Weber1.Jenaer Technologietag, Digitale Arbeitswelten, Workshop zu Technologie, 31. Januar 2018, Ernst-Abbe-Hochschule, Jena1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. -
MEMS2015 - Schaltplan-basierter Entwurf von MEMS für Anwendungen in Optik und Robotik
Volker Boos1. Ralf Popp2. Mirco Meiners3. D. Meisel3. A. Müller4.in Newsletter edacentrum, 01/20131IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2edacentrum GmbH Hannover. 3Robert Bosch GmbH Stuttgart. 4X-FAB Semiconductor Foundries AG Erfurt.Article MEMS2015 -
Messtechnisch gestützte Beratung und Analyse des Kosteneinsparpotenzials
H. Töpfer1,2.Gera: Enterprise Europe Network Thüringen- Unternehmerworkshop. 13.04.20111IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Technische Universität Ilmenau, Fachgebiet Theoretische Elektrotechnik, Germany.Talk -
Messumgebung für Lebensdauertests basierend auf dem Konzept der universellen Test-Chips (UTC)
Björn Bieske1. Ingo Gryl1. Pierre Wenke2. Martin Jäger3. Jörg Steinecke2. Xiao Liu2.35. ITG/GI/GMM-Workshop Testmethoden und Zuverlässigkeit von Schaltungen und Systemen (TuZ 2023), 26. - 28. Februar 2023, Erfurt, Germany1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2X-FAB Semiconductor Foundries GmbH, Erfurt, Germany. 3X-FAB Global Services GmbH, Erfurt, Germany.