Current Publication
Magnetic Levitating System with 6 DOF
Christoph Schäffel1.
Michael Katzschmann1.
Hans-Ulrich Mohr1.
Rainer Glöss2.
Christian Rudolf2.
Christopher Mock2.
Carolin Walenda2.
Innovative Klein- und Mikroantriebstechnik 2013, 9. GMM/ETG Fachtagung, Nürnberg, 19.09.2013-20.09.2013
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
2Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Karlsruhe, Germany.
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