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Planar Magnetic 6D Levitating system with Compact Sensor
Christoph Schäffel1. Michael Katzschmann1. Hans-Ulrich Mohr1. Rainer Glöß2. Christian Rudolf2. Christopher Mock2. Carolin Walenda2. R. Liang2.27th Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering (ASPE), 2012, in Proceedings, ISBN 978-1-887706-61-2, p. 99-1021IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Karlsruhe, Germany.Article Mag6D -
Planar Magnetic 6D Levitating System with Compact Sensor
Christoph Schäffel1. Michael Katzschmann1. Hans-Ulrich Mohr1. Rainer Glöß2. Christopher Mock2. Christian Rudolf2. Carolin Walenda2.6. Tagung 'Feinwerktechnische Konstruktion', Dresden, 08.11.20121IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Karlsruhe, Germany.Talk -
Pikosekundenschnelle Lichtmessungen für die Quantenforschung – Einzelphotonen präzise messen
Jakob Hampel1.Elektronik, 04.2024, 20. Februar 2024, Seite 60 - 63, ePaper: wfm-publish.blaetterkatalog.de/frontend/mvc/catalog/by-name/ELE1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. -
Piezoelectric AIN-biomorph benders as low-frequent, resonant microactuators with large travel range
S. Hampl1,2. M. Hoffmann2.Mikrosystemtechnik Kongress, Aachen, 2013, S. 480-483, ISBN 978-3-8007-3555-61IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Technische Universität Ilmenau, Fachgebiet Mikromechanische Systeme.Article -
Picometer-Scale Positioning of a Linear Drive System via Feedforward-Feedback Control
Alex S. Huaman1. Michael Katzschmann1. Steffen Hesse1. Christoph Schäffel1. Christoph Weise2. Denis Dontsov3. Eberhard Manske2. Johann Reger2.2021 IEEE International Conference on Mechatronics (ICM2021), DOI: doi.org/10.1109/ICM46511.2021.9385699, 7 - 9 March 2021, Kashiwa, Japan1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Technische Universität Ilmenau, Germany. 3SIOS Meßtechnik GmbH, Germany. -
Physical Design and Verification of MEMS, RoMulus – Robuste Multisensorik zur Zustandsüberwachung in Industrie-4.0-Anwendungen
Volker Boos1. Jenny Klaus1. Gerold Schröpfer3. Johannes Eisenmenger4. Johannes Seelhorst5.edaWorkshop 2017, 8-10 May 2017, Dresden1X-FAB Semiconductor Foundries AG, Germany, Erfurt. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 3Coventor. 4Carl Zeiss SMT GmbH, Germany. 5Robert Bosch, Germany. -
Photo detector IC for Blu-ray-Disc applications: a realization applying efficient design methodologies
S. Lange1. T. Reich1. J. Nowak1. B. Dimov1. M. Meister1. E. Hennig1.Advances in Radio Science 9, S. 219-223. www.advances-in-radio-science.net1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Article TAB DVD photo diode -
Performance of SpaceTime Processing for ISI- and CCI-Suppression in Industrial Scenarios
U. Trautwein1. D. Hampicke. G. Sommerkorn. R. S. Thomä.IEEE Annual Vehicular Technology Conference 2000, 15.-18.5.2000, Tokyo, Japan1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Talk -
Performance of SpaceTime Processing for ISI- and CCI-Suppression in Industrial Scenarios
U. Trautwein1. D. Hampicke. G. Sommerkorn. R. S. Thomä.In: Proc. 51st IEEE Vehicular Technology Conference, Band 3, S. 1894-1898. VTC 2000-Springer Tokyo, 15.-18.5.20001IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Article -
Perforated plates of inertial sensors – modeling by effective material properties
Steffen Michael1. Astrid Frank1. G. Hölzer2. G. Lorenz3.EUROSENSORS 2014, the 28th European Conference on Solid-State Transducers, in Procedia Engineering, Volume 87, 2014, Pages 480 – 483, www.sciencedirect.com, DOI: dx.doi.org/10.1016/j.proeng.2014.11.4001IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, D-98693 Ilmenau, Germany. 2XFAB-AG, Germany, Erfurt. 3Conventor, 3 avenue de Quebec, 91140 Villebon sur Yvette, France.