Publikationsübersicht –DienstleistungenFE-Modellierung und Simulation
Operation and performance evaluation of vertical nanopositioners for 10 mm stroke in a 3D lift and tilt test setup
Steffen Hesse1, Michael Katzschmann1, Alex S. Huaman1, Stephan Gorges1, Eberhard Manske2euspen – Special Interest Group Meeting: Precision Motion Systems & Control, , ’s-Hertogenbosch, Netherlands1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, GermanyDevelopment of an Integrated Guiding and Actuation Element for High Dynamic Nanopositioning Systems
Stephan Gorges1, Bianca Leistritz1, Steffen Hesse1, Ingo Ortlepp2, G. Slotta3, Christoph Schäffel1Ilmenau Scientific Colloquium 2017, Session 1.1 – Precision Measurement Technology, , Ilmenau1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, Germany, 3AeroLas GmbH, Grimmerweg 6, 82008 Unterhaching, GermanyA contribution towards model-based design of application-specific MEMS
Jenny Klaus1, Eric Schäfer1, Roman Paris1, Astrid Frank1, Ralf Sommer1in Integration, vol. 58, pp. 454-462, 2017, DOI: doi.org/10.1016/j.vlsi.2017.03.0141IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, GermanyInvestigations of metal systems in a silicon ceramic composite substrate for electrical and thermal contacts as well as associated mounting aspects
Michael Fischer1, T. Welker1, Bianca Leistritz2, Christoph Schäffel2, Martin Hoffmann1, Jens Müller1Ceramic Interconnect and Ceramic Microsystems Technologies, Additional Conferences (Device Packaging, HiTEC, HiTEN, & CICMT), , Denver, Colorado, USA, pp. 000107-000110, DOI: dx.doi.org/10.4071/2016CICMT-WA221Technical University of Ilmenau, Institute for Micro- and Nanotechnologies (IMN) MacroNano®, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany, 2IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany6D planar magnetic levitation system - PIMag 6D
Christoph Schäffel1, Michael Katzschmann1, Hans-Ulrich Mohr1, Rainer Gloess2, Christian Rudolf2, Carolin Walenda2in JSME Mechanical Engineering Journal, vol. 3, no. 1, pp. 15-00111, 2016, DOI: doi.org/10.1299/mej.15-001111IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Physik Instrumente (PI) SE & Co. KG, Auf der Römerstraße 1, 76228 Karlsruhe, Germany