Mit Systemen wie dem Mag6D sollen künftig partikelfrei Halbleiter-, Life-Science- und Biotech-Produkte im Vakuum hergestellt werden. Dieses hochpräzise Positioniersystem bewegt eine Plattform in sechs Koordinaten – den drei Raumachsen und der jeweiligen Rotation um diese Achsen. Die Plattform schwebt dabei allein auf einem magnetischen Feld, das Antrieb und Führung für alle Achsen übernimmt, arbeitet vollkommen kontaktlos und hat keinerlei Zuleitungen. So kann das System nahezu ohne Partikelgeneration in hochreinen Umgebungen betrieben werden.

Ein optisch inkrementales Messsystem erfasst in Kombination mit drei kapazitiven Sensoren die Position und regelt den Antrieb in allen Achsen. Die aktive Führung arbeitet äußerst präzise. Von einer Idealebene weichen die Bewegungen der Plattform um maximal zehn Nanometer ab.

Für das Prototypensystem hat das IMMS ein planares magnetisches Antriebssystem entwickelt. Darüber hinaus hat das Institut ein Kompensationsverfahren erarbeitet. Dieses erfasst die fertigungs- und materialbedingten Toleranzen der Baugruppen automatisiert. Mit Hilfe von Korrekturmatrizen in der Regelschleife ermöglicht es eine nanometerpräzise Bewegung in sechs Dimensionen.

Der Partner PI bietet das System unter dem Namen PIMag®6D an.