Aktuelle Publikation
Development of an Integrated Guiding and Actuation Element for High Dynamic Nanopositioning Systems
Stephan Gorges1, Bianca Leistritz1, Steffen Hesse1, Ingo Ortlepp2, G. Slotta3, Christoph Schäffel1
Ilmenau Scientific Colloquium 2017, Session 1.1 – Precision Measurement Technology, , Ilmenau
1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, Germany, 3AeroLas GmbH, Grimmerweg 6, 82008 Unterhaching, Germany
Zugehörige Inhalte
Projekt
INPOS
Neuartiger integrierter 6DOF-Direktantrieb bewegt großflächige Objekte mit geringer vertikaler Ausdehnung nanometergenau im Raum.
Projekt
AFiA
Das IMMS hat einen Vertikalantrieb entwickelt, der Objekte in einem Hebe- bzw. Senkbereich von 10 mm aktiv geregelt mit Nanometer-Präzision bewegt.