Development of an Integrated Guiding and Actuation Element for High Dynamic Nanopositioning Systems

Stephan Gorges¹. Bianca Leistritz¹. Steffen Hesse¹. I. Ortlepp². G. Slotta³. Christoph Schäffel¹.

Ilmenau Scientific Colloquium 2017, Session 1.1 – Precision Measurement Technology, 11-15 September 2017, Ilmenau

¹IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. ²Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, TU Ilmenau. ³AeroLas GmbH.

Magnetische 6D-Direktantriebe mit nm-Präzision Vortrag und Posterpräsentation

Zugehörige Inhalte

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INPOS

Neuartiger integrierter 6DOF-Direktantrieb bewegt großflächige Objekte mit geringer vertikaler Ausdehnung nanometergenau im Raum.

Projekt

AFiA

Das IMMS hat einen Vertikalantrieb entwickelt, der Objekte in einem Hebe- bzw. Senkbereich von 10 mm aktiv geregelt mit Nanometer-Präzision bewegt.

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