Aktuelle Publikation
6D planar magnetic levitation system - PIMag 6D
Christoph Schäffel1.
Michael Katzschmann1.
Hans-Ulrich Mohr1.
Rainer Glöss2.
Christian Rudolf2.
Carolin Walenda2.
JSME Mechanical Engineering Journal, Vol. 3 (2016) No. 1 p. 15-00111, The Japan Society of Mechanical Engineers, DOI: doi.org/10.1299/mej.15-00111
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, D-98693 Ilmenau, Germany.
2Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Karlsruhe, Germany.
