IMMS - 6D planar magnetic levitation system

6D planar magnetic levitation system - PIMag 6D

Christoph Schäffel¹. Michael Katzschmann¹. Hans-Ulrich Mohr¹. Rainer Glöss². Christian Rudolf². Carolin Walenda².

JSME Mechanical Engineering Journal, Vol. 3 (2016) No. 1 p. 15-00111, The Japan Society of Mechanical Engineers, DOI: doi.org/10.1299/mej.15-00111

¹IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, D-98693 Ilmenau, Germany. ²Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Karlsruhe, Germany.

Magnetische 6D-Direktantriebe mit nm-Präzision Begutachtete Veröffentlichung

Zugehörige Inhalte

Projekt

Mag6D

Das im Projekt entwickelte neuartige planare Antriebssystem ist magnetisch geführt und bewegt Objekte auf den Nanometer genau.

Auszeichnung

Nominierung für den Innovationspreis Thüringen 2012 in der Kategorie INDUSTRIE & MATERIAL: Planarer magnetischer 6D-Direktantrieb für Nanometer-Positionierung

IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH Ilmenau

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