Wissenschaftliche Publikationen
Hier finden Sie alle Veröffentlichungen des IMMS seit 1997: begutachtete Konferenz-Paper / Journal-Beiträge, Fachartikel in Zeitschriften, Vorträge und Posterpräsentationen.
1226 Ergebnisse
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Interferometric controlled planar positioning system with zerodur slider
S. Hesse1. C. Schäffel1. H-U. Mohr1. H. -J. Büchner2.Ilmenau. In Proceedings. 56. Int. wissenschaftliches Kolloquium der TU Ilmenau. URN: urn:nbn:de:gbv:ilm1-2011iwk-103:11IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Technische Universität Ilmenau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik.Fachartikel SFB622 -
Interferometric controlled planar positioning system with zerodur slider
S. Hesse1. C. Schäffel1. H-U. Mohr1. H. -J. Büchner2.Ilmenau: 56. IWK der TU Ilmenau. 12.09. - 16.09.20111IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Technische Universität Ilmenau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik.Vortrag -
Design of an interferometric test station for parallel inspection of MEMS
C. Schäffel1. S. Michael1. R. Paris1. A. Frank1. N. Zeike1. K. Gastinger2. M. Kujawinska3. U. Zeitner4. S. Beer5.Ilmenau. In Proceedings. 56. Int. wissenschaftliches Kolloquium der TU Ilmenau. URN: urn:nbn:de:gbv:ilm1-2011iwk-098:51IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstr. 27, D-98693 Ilmenau, Germany. 2NTNU Trondheim, before SINTEF IKT Optical measurement systems and data analysis, N-7465 Trondheim, Norway. 3Institute of Micromechanics and Photonics, Warsaw University of Technology, 8 Sw. A. Boboli St.,Pl-02-525 Warsaw, Poland. 4Fraunhofer IOF, A.-Einstein-Str. 7, 07745 Jena, Germany. 5CSEM Centre Suisse d’Electronique et de Microtechnique SA, Technoparkstr. 1, CH-8005 Zurich, Switzerland.Fachartikel -
Entwicklung eines magnetisch geführten, planaren Direktantriebs
M. Katzschmann1. D. Karolewski1. C. Schäffel1.Zittau: 8. Workshop Magnetlagertechnik Zittau-Chemnitz. Tagungsband. S. 23-291IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Fachartikel -
Messwertgestützte Energieeffizienzoptimierung
F. Dinger1. T. Hutschenreuther2.Erfurt: 4. Energieeffizienz-Workshop: 'Energieeffizienz durch Prozessoptimierung - Von der Analyse zu intelligenten Lösungen'. 07.07.20111MAT Mess- und Analysentechnik, Hofgeismar, Germany. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
Energy Harvesting für drahtlose Sensornetzwerke
H. Töpfer1,2.Suhl: elmug4future. 05.07. - 06.07.20111IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Technische Universität Ilmenau, Fachgebiet Theoretische Elektrotechnik, Germany.Vortrag -
Energy Harvesting für drahtlose Sensornetzwerke
H. Töpfer1,2.Suhl: elmug4future, 05.07. - 06.07.20111IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Ilmenau University of Technology, Department of Advanced Electromagnetics.Posterpräsentation -
Magnetische Direktantriebe mit sub-µm-Genauigkeit Magnetisch schwebende Plattform
F. Spiller1.Suhl: elmug4future, 05.07. - 06.07.20111IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Posterpräsentation -
Magnetische Direktantriebe mit sub-µm-Genauigkeit Magnetisch schwebende Plattform
F. Spiller1.Suhl: elmug4future. 05.07. - 06.07.20111IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
Ambient Light Sensor (ALS) - Anwendung und Test
M. Meister1.Suhl: elmug4future, 05.07. - 06.07.20111IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Posterpräsentation