Interferometric controlled planar positioning system with zerodur slider

S. Hesse¹. C. Schäffel¹. H-U. Mohr¹. H.-J. Büchner².

Ilmenau. In Proceedings. 56. Int. wissenschaftliches Kolloquium der TU Ilmenau. URN: urn:nbn:de:gbv:ilm1-2011iwk-103:1

¹IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. ²Technische Universität Ilmenau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik.

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Projekt

SFB622

Das IMMS hat neuartige Antriebsstrukturen für die nanometerpräzise Bewegung von Objekten über große Fahrbereiche entwickelt.

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