Wegbereiter und Voraussetzung für die Entwicklung der Nanotechnologien sind Nanopositionier- und Nanomessmaschinen (NPMM). Sie ermöglichen erst den Zugang zur Welt der Nanometer und sind für Messung, Positionierung, Antastung, Bearbeitung und Manipulation von Objekten mit Nanometerpräzision unverzichtbar.

Derartige Technik ist daher essenziell in der Mikro- und Nanoelektronik, der Mikromechanik und Präzisionstechnik, der Werkstoffforschung und der Metrologie, der Optik und der Molekularbiologie. In den SFB hat das IMMS sein Know-how auf dem Gebiet der Präzisionsantriebstechnik und der integrierten Mehrkoordinatenantriebe eingebracht. Das Institut hat im Teilprojekt „Nanopositioniersysteme großer Bewegungsbereiche“ Antriebssysteme und leistungsfähige Regelungen für eine nm-präzise Bewegung von Objekten über große Fahrbereiche entwickelt.

Gemeinsam mit den Partnern hat das IMMS zum einen die metrologischen Grenzen für NPM-Maschinen bezüglich der Arbeitsbereiche bis 450 mm x 450 mm x 80 mm, der Messauflösung bis 0,01 nm und der Reproduzierbarkeit bis < 0,3 nm untersucht. Zum anderen wurden gemeinsam mit den Partnern optimal angepasste metrologische Lösungen für variable Einsatzszenarien von NPM-Maschinen mit unterschiedlichen Sensor- und Antastsystemen erarbeitet.