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Wissenschaftliche Publikationen

Hier finden Sie alle Veröffentlichungen des IMMS seit 1997: begutachtete Konferenz-Paper / Journal-Beiträge, Fachartikel in Zeitschriften, Vorträge und Posterpräsentationen.

1198 Ergebnisse
  • Vernetzt, mobil, smart - Herausforderungen an die Mikroelektronik

    Wolfgang Sinn1.
    7. Silicon Saxony Day 'Vernetzt in die Zukunft', Dresden, 27.06.2012
    1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
    Vortrag
  • Vernetzt, mobil, smart - Märkte der Zukunft

    Wolfgang Sinn1.
    Technologiekonferenz, elmug4future, Suhl, 26.06.2012-27.06.2012
    1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
    Vortrag
  • Vernetzt, mobil, smart - Märkte der Zukunft

    Wolfgang Sinn1.
    Technologiekonferenz, elmug4future, Suhl, 26.06.2012-27.06.2012
    1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
    Posterpräsentation
  • Magnetisch schwebender Direktantrieb zur nm-Positionierung

    C. Schäffel1. Rainer Glöß2.
    elmug4future. 26.6.-27.6.2012. Suhl
    1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Karlsruhe, Germany.
    Posterpräsentation
  • Magnetisch schwebender Direktantrieb zur nm-Positionierung

    C. Schäffel1. Rainer Glöß2.
    Technologiekonferenz, elmug4future, Suhl, 26.06.2012-27.06.2012
    1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Karlsruhe, Germany.
    Vortrag
  • Magnetic Levitation in 6DOF with Halbach array Configuration

    Rainer Glöß1. Christopher Mock1. Christian Rudolf1. Carolin Walenda1. Christoph Schäffel2. Michael Katzschmann2. Hans-Ulrich Mohr. 2.
    Actuator, International Conference and Exhibition on New Actuators and Drive Systems, 2012, in Proceedings, ISBN 978-3-933339-20-1, CD-ROM
    1Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Karlsruhe, Germany. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
    Fachartikel
  • Design and performance evaluation of an interferometric controlled planar nanopositioning system

    Steffen Hesse1. Christoph Schäffel1. Hans-Ulrich Mohr1. Michael Katzschmann1. Hans-Joachim Büchner2.
    in Measurement Science and Technology, 23 (2012) 074011 (10pp), stacks.iop.org/0957-0233/23/074011
    1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Technische Universität Ilmenau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik.
    Fachartikel
  • Logistik - von der Via Regia zu vernetzten Welten

    Wolfgang Sinn1.
    erwicon, Erfurter Wirtschaftskongress, Erfurt, 07.06.2012-08.06.2012
    1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
    Vortrag
  • 6D Magnetic Levitation Positioning System with Compact Integrated 6D Sensor

    C. Rudolf1. C. Mock1. C. Walenda1. R. Glöss1. R. Liang1. C. Schäffel2. M. Katzschmann2. H. -U. Mohr2.
    12th EUSPEN Int. Conference, Schweden, Stockholm, 04.06.2012-08.06.2012
    1Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Karlsruhe, Germany. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
    Vortrag
  • 6D Magnetic Levitation Positioning System with Compact Integrated 6D Sensor

    C. Rudolf1. C. Mock1. C. Walenda1. R. Glöss1. R. Liang1. C. Schäffel2. M. Katzschmann2. H. -U. Mohr2.
    12th EUSPEN International Conference, 2012, in Proceedings P7.04 Vol II, ISBN 978-0-9566790-0-0
    1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Physik instrumente Karlsruhe Germany.
    Fachartikel Mag6D
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