Publikationen

Entworfen und bewegt

C. Schäffel¹. M. Katzschmann¹.

11.2011. Der Konstrukteur S. 22-23

¹IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.

Fachartikel

Interferometric controlled planar nanopositioning system with 100mm circular travel range

S. Hesse¹. C. Schäffel¹. M. Katzschmann¹. H. -J. Büchner².

Denver, USA: ASPE 26th Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering. in Proceedings, CD-ROM

¹IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. ²Technische Universität Ilmenau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik.

Fachartikel

Ein Tool-Framework zur Technologiemigration analoger Schaltungen

V. Boos¹. J. Nowak¹.

Erlangen: Analog 2011

¹IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.

Posterpräsentation

Ein Tool-Framework zur Technologiemigration analoger Schaltungen

V. Boos¹. J. Nowak¹.

Erlangen: in Proceedings ANALOG 2011. GMM-Fachbericht Band 70. CD-ROM. ISBN 978-3-8007-3369-9

¹IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.

Fachartikel

Interferometric Test Station for Parallel Inspection of MEMS

C. Schäffel¹. S. Michael¹. R. Paris¹. A. Frank¹. N. Zeike¹. K. Gastinger². M. Kujawinska³. U. Zeitner⁴. S. Beer⁵.

Dresden: 5. Tagung 'Feinwerktechnische Konstruktion'. 141.30.123.140/feinwerkwiki/index.php/5._Tagung_Feinwerktechnische_Konstruktion

¹IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstr. 27, D-98693 Ilmenau, Germany. ²NTNU Trondheim, before SINTEF IKT Optical measurement systems and data analysis, N-7465 Trondheim, Norway. ³Institute of Micromechanics and Photonics, Warsaw University of Technology, 8 Sw. A. Boboli St.,Pl-02-525 Warsaw, Poland. ⁴Fraunhofer IOF, A.-Einstein-Str. 7, 07745 Jena, Germany. ⁵CSEM Centre Suisse d’Electronique et de Microtechnique SA, Technoparkstr. 1, CH-8005 Zurich, Switzerland.

Fachartikel

Interferometric Test Station for Parallel Inspection of MEMS

C. Schäffel¹. S. Michael¹. R. Paris¹. A. Frank¹. N. Zeike¹. K. Gastinger². M. Kujawinska³. U. Zeitner⁴. S. Beer. ⁵.

Dresden: 5. Tagung 'Feinwerktechnische Konstruktion'. 03.11.2011

¹IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstr. 27, D-98693 Ilmenau, Germany. ²NTNU Trondheim, before SINTEF IKT Optical measurement systems and data analysis, N-7465 Trondheim, Norway. ³Institute of Micromechanics and Photonics, Warsaw University of Technology, 8 Sw. A. Boboli St.,Pl-02-525 Warsaw, Poland. ⁴Fraunhofer IOF, A.-Einstein-Str. 7, 07745 Jena, Germany. ⁵CSEM Centre Suisse d’Electronique et de Microtechnique SA, Technoparkstr. 1, CH-8005 Zurich, Switzerland.

Vortrag

AlGaN/GaN-heterostructures on (111) 3C-SiC/Si pseudo substrates for high frequency applications

K. Tonisch¹. W. Jatal¹. F. Niebelschuetz¹. H. Romanus². U. Baumann³. F. Schwierz¹. J. Pezoldt¹.

Thin Solid Films, Volume 520, Issue 1, 31 October 2011, S. 491-496. www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0040609011013885

¹Institute of Micro- and Nanotechnology MacroNano®, Ilmenau Technical University, P.O. Box 100565, 98684 Ilmenau, Germany. ²Center for Micro- and Nanotechnology, Ilmenau Technical University, P.O. Box 100565, 98684 Ilmenau, Germany. ³IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstr. 27, 98693 Ilmenau, Germany.

Fachartikel

Energiemanagement von Funksensorknoten

T. Rossbach¹. M. Eifart¹. W. Kattanek¹.

Wissenschaftliche Zeitschrift der Hochschule Mittweida Nr. 3/2011 'Drahtlose Kommunikationssysteme', S. 36-39

¹IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.

Fachartikel

Energieeffiziente Funkkommunikation für Smart Home Anwendungen

E. Chervakova¹. W. Kattanek¹.

Wissenschaftliche Zeitschrift der Hochschule Mittweida Nr. 3/2011 'Drahtlose Kommunikationssysteme'. S. 40-43

¹IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.

Fachartikel SHS-Facility

Testing of Ultra-sensitive materials for nanoelectromechanical systems - USENEMS

R. Grieseler¹. J. Klaus². M. Stubenrauch³. K. Tonisch³. S. Michael². J. Pezoldt³. P. Schaaf³.

Lanzarote, Canary Islands, Spain: ECI Conference on Nanomechanical Testing in Materials Research and Development. (invited). 9.10.2011

¹Ilmenau University of Technology, Institute of Micro- and Nanotechnologies MacroNano® and Institute of Materials Engineering, Department Materials for Electronics, Germany. ²IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. ³Ilmenau University of Technology, Institute of Micro- and Nanotechnologies MacroNano®, Department of Nanotechnology.

Vortrag