Wissenschaftliche Publikationen
Hier finden Sie alle Veröffentlichungen des IMMS seit 1997: begutachtete Konferenz-Paper / Journal-Beiträge, Fachartikel in Zeitschriften, Vorträge und Posterpräsentationen.
1175 Ergebnisse
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Ein- und mehrlagige vertikale Comb-Drive-Strukturen zur kapazitiven, niederfrequenten Energiegewinnung
Stefan Hampl1. Bianca Leistritz1. Benjamin Saft1. Eckhard Hennig1. Martin Hoffmann2.Jahrestagung der Thüringer Forschergruppe, Technische Universität Ilmenau, 11.09.20131IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Technische Universität Ilmenau, IMN MacroNano®, Fachgebiet Mikromechanische Systeme Ilmenau.Posterpräsentation -
A Software Architecture for the Analysis of Energy- and Process-Data
Björn Kroll1. Sebastian Schriegel1. Stefan Schramm2. Oliver Niggemann1.18th IEEE International Conference on Emerging Technologies and Factory Automation (ETFA), Cagliari, Italy, 10.09.2013-13.09.20131Fraunhofer IOSB-INA, Application Center for Industrial Automation, Lemgo, Germany. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag ANUBIS -
A Software Architecture for the Analysis of Energy- and Process-Data
Björn Kroll1. Sebastian Schriegel1. Stefan Schramm2. Oliver Niggemann1.in proceedings 18th IEEE International Conference on Emerging Technologies and Factory Automation (ETFA), Cagliari, Italy, Sept. 2013, pp. 1-4, ISBN 978-1-4799-0864-6, Digital Object Identifier: 10.1109/ETFA.2013.6648146, IEEE Catalog Number: CFP13ETF-ART1Fraunhofer IOSB-INA, Application Center for Industrial Automation, Lemgo, Germany. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Fachartikel -
Abtastvorrichtung zur hochdynamischen Bewegung einer reflektiven Terahertz-Optik
Norbert Zeike1. Michael Katzschmann1. Christoph Schäffel1. Torsten May2.ELMUG-Technologiekonferenz elmug4future, Suhl, 02.07.2013-03.07.20131IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Leibniz-Institut für Photonische Technologien (IPHT), Jena.Vortrag TESCA -
Funkvernetzte, energieautarke Sensorlösungen zur Verkehrsdatenerfassung
Marco Götze1.ELMUG-Technologiekonferenz elmug4future, Suhl, 02.07.2013-03.07.20131IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag sMobiliTy -
Smart City - Leben & Arbeiten in vernetzten Welten
Wolfgang Sinn1.8. Silicon Saxony Day, Fachforum 'Smart City', Dresden, 24.06.20131IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
Teilprojekt A5 - Nanopositioniersysteme großer Bewegungsbereiche
Steffen Hesse1.Forschungsergebnisse 2002-2013, Abschlusspräsentation SFB 622 Nanopositionier- und Nanomessmaschinen, Ilmenau, 29.05.20131IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
Teilprojekt A5 - Nanopositioniersysteme großer Bewegungsbereiche
Steffen Hesse1.Forschungsergebnisse 2002-2013, Abschlusspräsentation SFB 622 Nanopositionier- und Nanomessmaschinen, Ilmenau, 29.05.20131IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Posterpräsentation -
Schematic Driven MEMS Design
Ralf Sommer1.edaWorkshop, Dresden, 14.05.2013-16.05.20131IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag MEMS2015 -
Schematic-Based Design of MEMS for Applications in Optics and Robotics
T. Maier1. D. Meisel1. Volker Boos3. Ralf Popp2.edaWorkshop, Dresden, 14.05.2013-16.05.20131Robert Bosch GmbH, Stuttgart. 2edacentrum GmbH, Hannover. 3IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Posterpräsentation MEMS2015