Aktuelle Publikation
Integriertes elektrostatisches MEMS-Energy-Harvesting-Modul
Benjamin Saft1
Fachzeitschrift Mechatronik 1-2, 2015
1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany
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