Wissenschaftliche Publikationen
Hier finden Sie alle Veröffentlichungen des IMMS seit 1997: begutachtete Konferenz-Paper / Journal-Beiträge, Fachartikel in Zeitschriften, Vorträge und Posterpräsentationen.
1198 Ergebnisse
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Perforated plates of inertial sensors – modeling by effective material properties
Steffen Michael1. Astrid Frank1. G. Hölzer2. G. Lorenz3.EUROSENSORS 2014, the 28th European Conference on Solid-State Transducers, in Procedia Engineering, Volume 87, 2014, Pages 480 – 483, www.sciencedirect.com, DOI: dx.doi.org/10.1016/j.proeng.2014.11.4001IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, D-98693 Ilmenau, Germany. 2XFAB-AG, Germany, Erfurt. 3Conventor, 3 avenue de Quebec, 91140 Villebon sur Yvette, France. -
Passive 350 GHz Video Imaging Systems for Security Apllications
E. Heinz1. T. May2. D. Born2. G. Zieger1. S. Anders2. V. Zakosarenko1. H. -G. Meyer2. C. Schäffel3.Journal of Infrared, Millimeter and Terahertz Waves manuscript No., DOI: dx.doi.org/10.1007/s10762-015-0170-8, Online ISSN: 1866-6906, Print ISSN: 1866-6892, Volume 36, Number 7, July 20151Supracon AG, D-07751 Jena, Germany. 2Leibniz Institute of Photonic Technology e. V., D-07745 Jena, Germany. 3IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, D-98693 Ilmenau, Germany. -
Parasitic Symmetry at a Glance: Uncovering Mixed-Signal Layout Constraints
Georg Gläser1. Benjamin Saft1. Ralf Sommer1.FAC 2017, Frontiers in Analog CAD, Frankfurt on the Main, Germany, 21-22 July 2017, pp. 1-6. URL: ieeexplore.ieee.org/document/8011279/1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. -
Parametric Measurement Unit und Pinelektronik für ein modulares Mixed Signal Testsystem
A. Rolapp1. R. Paris1.21. Workshop 'Testmethoden und Zuverlässigkeit von Schaltungen und Systemen' (TuZ 2009), Tagungsband S. 86, 15. - 17. Februar 2009, Bremen1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Fachartikel -
Parametric Measurement Unit and Pin Electronics for modular Mixed Signal Test Systems
A. Rolapp1. R. Paris1.Chip, Packaging, Design, Simulation and Test - International Conference, Workshop and Table-top Exhibition 'Semiconductor Conference Dresden 2009' (SCD 2009), 29. - 30. April 2009, Dresden1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
Parameteridentifikation von MEMS auf Wafer-Level mittels dynamischer Messungen
S. Michael1. R. Paris2. S. Hering3.6. ITG/GI/GMM-Workshop Multi-Nature Systems: Entwicklung von Systemen mit elektronischen und nichtelektronischen Komponenten, Februar 2007, Erfurt1Melexis Erfurt GmbH. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 3X-FAB AG.Vortrag -
Parameter Identification of Piezoelectric AlGaN/GaN Beam Resonators by Dynamic Measurements
St. Michael1. K. Brueckner2. F. Niebelschuetz2. K. Tonisch2. C. Schäffel1.10th EuroSimE 2009, 26.-28. April, Delft, Netherlands1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2TU Ilmenau, Institute of Micro- and Nanotechnologies.Fachartikel -
Parameter Identification of MEMS Membrane and Beam Structures by Modal Analysis and Dynamic Measurements
St. Michael1.ANSYS Conference & 27. CADFEM Users' Meeting, 18. - 20. November 2009, Leipzig1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Fachartikel -
Parameter Identification of Membrane Structures - Chances and Limitations
S. Michael1.SSI 2010 - MEMUNITY Workshop, 24.03.2010, Grenoble, France1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
Parameter extraction such as layer thickness and stress at wafer level for process monitoring in semiconductor manufacturing
Steffen Michael1.Microstructure User Meeting 2026, Symposium zur optischen Schwingungsmessung, March 19, 2026, Waldbronn, Germany1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany.