Aktuelle Publikation
Physical Design and Verification of MEMS, RoMulus – Robuste Multisensorik zur Zustandsüberwachung in Industrie-4.0-Anwendungen
Volker Boos1.
Jenny Klaus1.
Gerold Schröpfer3.
Johannes Eisenmenger4.
Johannes Seelhorst5.
edaWorkshop 2017, 8-10 May 2017, Dresden
1X-FAB Semiconductor Foundries AG, Germany, Erfurt.
2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.
3Coventor.
4Carl Zeiss SMT GmbH, Germany.
5Robert Bosch, Germany.