Aktuelle Publikation
Physical Design and Verification of MEMS, RoMulus – Robuste Multisensorik zur Zustandsüberwachung in Industrie-4.0-Anwendungen
Volker Boos1, Jenny Klaus2, Gerold Schröpfer3, Johannes Eisenmenger4, Johannes Seelhorst5
edaWorkshop 2017, , Dresden
1X-FAB Semiconductor Foundries AG, Haarbergstraße 67, 99097 Erfurt, Germany, 2IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 3Conventor, 4Carl Zeiss SMT GmbH, Rudolf-Eber-Straße 2, 73447 Oberkochen, Germany, 5Robert Bosch GmbH, Germany


